Fraunhofer Institute for Photonic MicrosystemsList of patents of the Fraunhofer IPMS. The icons have the following meaning:
published granted
A method and a device for reducing hysteresis or imprinting in a movable micro-element
US 6,885,493 B2, EP 1 364 246, JP 2004-520618 A
A method to detect a defective element
DE 60 2004 003 125.9-08, EP 1 583 946 B1, US 7,061,226 B2
Adressing of an SLM
US 7,072,090 B2
Akustische Wandlervorrichtung mit einem Piezo-Schallwandler und einem MUT-Schallwandler, Verfahren zum Betrieb derselben, akustisches System, akustische Koppelstruktur und Verfahren zum Herstellen einer akustischen Koppelstruktur
WO 2016/188860 A1
Anordnung von mikromechanischen Elementen
DE 50 2006 013 212.5, EP 2 024 271 B1, JP 5265530, US 8,254,005 B2
Anordnung zum Aufbau eines miniaturisierten Fourier-Transform-Interferometers für optische Strahlung nach dem Michelson- bzw. einem daraus abgeleiteten Prinzip
AT 413 765 B
Antriebsprinzip zur Erzeugung resonanter Schwingungen von beweglichen Teilen mikromechanischer Bauelemente
US 6,595,055 B1
Apparatus and Method for Guiding Optical Waves
DE 60 2010 014 412.7, EP 2 513 715 B1, JP 5398923, US 9,046,704 B2
Apparatus and method for housing micromechanical systems
US 7,898,071 B2
Apparatus for generating two-dimensional illumination patterns
US 2016/0320290 A1
Arrangement for building a miniaturized fourier transform interferometer for optical rediation according to the michelson principle a principle derived therefrom
US 7,301,643 B2
Auslenkbare Struktur, mikromechanische Struktur mit derselben und Verfahren zur Einstellung einer mikromechanischen Struktur
CN 101279707 B, DE 10 2007 015 726 B4, US 7,872,319 B2
Auslenkbares mikromechanisches Element
CN 101316789 B, DE 11 2005 003 758 B4
Auslenkbares mikromechanisches System sowie dessen Verwendung
DE 11 2006 003 699 B4, US 7,841,242 B2, ZL 2006 8 0052190.5
Datenspeicherschaltung mit integrierter Datenspeichereinheit für einen Sensor mit physikalisch-elektrischem Wandler
DE 10 2008 030 908 B4
Device for Protecting a Chip and Method for Operating a Chip
EP 1 499 560 B1, US 2005/0095749 A1
Druckvorrichtung zum Drucken einer dreidimensionalen Struktur
DE 10 2015 212 153 A1
Elektromechanisches Bauteil, elektromechanische Bauteilanordnung, Verfahren zur Detektion einer Potentialdifferenz mit einem elektromechanischen Bauteil und Verfahren zur Funktionsprüfung des elektromechanischen Bauteils
10 2016 206 208 A1, TW 201739685
Elektrostatisch auslenkbares mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung
DE 10 2014 225 934 B4
Fluidic variable focal lenght optical lens and method for manufacturing the same
US 9,250,367 B2
Fourier transform spectrometer
DE 60 2005 041 090.2, EP 1 677 086 B1, US 7,733,493 B2
Gehäuse zur Verkapselung eines Mikroscannerspiegels
DE 10 2012 207 376 B3
Halbleitersubstrat und Verfahren zur Herstellung
DE 50 2006 008 141.5-08, EP 1 915 777 B1
Herstellungsverfahren
DE 50 2013 003 493.3, EP 2 892 844 B1, IT 502016000091440, DE 10 2012 217 793 A1
High energy, low energy density, radiation-resistant optics used with micro-electronical devices
CN 100380138 C, US 6,891,655 B2, EP 1 642 158 A1, KR 10-2007-0013987
Hochreflektiv beschichteter mikromechanischer Spiegel, Verfahren zu dessen Herstellung sowie dessen Verwendung
US 7,573,634 B2
Ion-sensitive field effect transistor and method for producing an ion-sensitive field effect transistor
US US 7,321,143 B2
Ion-Sensitive Layer structure for an Ion-Sensitive Sensor and method for manufacturing same
CN 104422725 A
Ion-sensitive structure and method for producing the same
US 2016/0274057 A1
Ionenselektiver Feldeffekttransistor und Verfahren zum Herstellen eines ionensensitiven Feldeffekttransistors
DE 503 04 800.3-08, EP 1 601 957 B1
Ionensensitive Schichtstrucktur für einen ionensensitiven Sensor und Verfahren zur Herstellung derselben
US 9,383,334 B2, DE 10 2013 109 357 A1
Ionensensitive Struktur und Verfahren zu Herstellung derselben
DE 10 2015 204 921 A1
Ionensensitive Struktur und Verfahren zur Herstellung derselben
EP 3 070 463 A1
Ionensensitiver Feldeffekttransistor und Verfahren zum Herstellen eines ionensensitiven Feldeffekttransistors
DE 502 02 661.8-08, EP 1 436 607 B1
Ionensensitiver Feldeffekttransistor und Verfahren zum Herstellen eines ionensensitiven Feldeffekttransistors
DE 502 13 303.1-08, EP 1 583 957 B1, US 7,355,200 B2
Lichtkanal und Verfahren zum Herstellen eines Lichtkanals
DE 10 2014 210 903 A1
Memory Cell
US 9,368,182 B2
MEMS Actuator, system having a plurality of MEMS Actuators, and method for producing a MEMS Actuator
US 2017/0297897 A1
MEMS Aktuator, System mit einer Mehrzahl von MEMS Aktuatoren und Verfahren zum Herstellen eines MEMS Aktuators
DE 10 2015 200 626 B3
MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben
DE 10 2015 210 919 A1, WO 2016/202790 A2
Method and Apparatus for Controlling Deformable Actuators
DE 602 46 214.2, EP 1 520 201, US 7,424,330
Method and apparatus for controlling exposure of a surface of a substrate
DE 603 33 398.2, EP 1 616 211 B1, JP 4188322, US 6,956,692 B2
Method and Apparatus for Microlithography
US 6,624,880 B2
Method for detecting an offset drift in a wheatstone measuring bridge
US 7,088,108 B2
Method for generating a micromechanical structure
US 7,940,439 B2
Method for manufacturing a microelectronic circuit and corresponding microelectroniccircuit
US 2017/0207225 A1
Method for the compensation of deviations occurring as a result of manufacture in the manufacture of micromechanical elements and their use
US 7,951,635 B2
Method of fabricating a micromechanical structure out of two-dimensional elements and micromechanical device
US 7,929,192 B2
Micro-optical element having a substrate at which at least one vertical step is formed at an optically effective surface, a methode for its manufacture and uses
DE 60 2007 018 826.1, EP 2 089 773 A1
Microelectromechanical System for tuning Lasers
US 2016/0336720 A1
Micromechanical Device
US 9,164,277 B2
Micromechanical device with adjustable resonant frequency by geometry alteration and method for operating same
US 7,830,577 B2
Micromechanical device with an actively deflectable element
US 9,676,607 B2
Micromechanical Device with an Actively Deflectable Element
JP 2017-7085 A
Micromechanical Element
US 8,570,637 B2
Micromechanical element and sensor for monitoring a micromechanical element
US 8,379,283 B2
Micromechanical element which can be deflected
US 9,045,329 B2
Microoptic reflecting component
US 7,490,947 B2
Mikrochip mit einer RFID-Transponder-Schaltung und einer ON-Chip-Schlitzantenne
DE 10 2015 226 832 A1
Mikroelektromechanisches System zum Durchstimmen von Lasern
DE 10 2014 201 701 A1, JP 2017-504973 A
Mikroelektromechanisches Translationsschwingersystem
DE 10 2010 029 072 B4
Mikromechanische Vorrichtung mit einem aktiv biegbaren Element
DE 10 2015 206 774 A1
Mikromechanisches Bauelement
DE 50 2011 012 156.3, EP 2 664 058 B1, IT 502017000084227, JP 5951640
Mikromechanisches Bauelement
DE 501 12 140.4-08, EP 1 410 047 B1
Mikromechanisches Bauelement mit beweglichen Elektroden und statischer Gegenelektrode
US 7,078,778 B2
Mikromechanisches Bauelement mit einstellbarer Resonanzfrequenz
DE 503 11 766.8-08, EP 1 613 969 B1
Mikromechanisches Bauelement mit einstellbarer Resonanzfrequenz durch Geometrieänderung und Verfahren zum Betreiben desselben
DE 10 2007 001 516 B3, ZL200710160893.6
Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit und Verfahren zum Herstellen desselben
DE 11 2007 003 051 B4
Mikromechanisches Bauelement mit Schwingkörper
AT 1 123 526, CH 1123526, DE 598 04 942.8-08, EP 1 123 526 B1, FR 1123526, GB 1123526, IT 1123526, NL 1123526
Mikromechanisches Bauelement mit Temperaturstabilisierung und Verfahren zur Einstellung einer definierten Temperatur oder eines definierten Temperaturverlaufes an einem mikromechanischen Bauelement
US 8,147,136 B2, US 8,842,356 B2, ZL 2008 1 0128792.5
Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektrodenkämmen
CN 101284642 B, DE 10 2008 012 825 B4, US 7,466,474 B2
Mikromechanisches Bauelement zur Modulation von elektromagnetischer Strahlung und optisches System mit demselben
DE 10 2007 047 010 B4
Mikromechanisches Bauelement, mikromechanisches System, Vorrichtung zum Einstellen einer Empfindlichkeit eines mikromechanischen Bauelements, Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
CN 101301991 B, US 7,679,152 B2
Mikromechanisches Element
DE 10 2010 028 111 B4
Mikromechanisches Element und Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Elements
DE 10 2008 049 647 B4
Mikromechanisches Element, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung
CN 101139080 B
Mikromechanisches optisches Element mit einer reflektierenden Fläche sowie dessen Verwendung
DE 10 2005 033 800 B4, US 7,369,288 B2, ZL 200610098825.7
Mikromechanisches System mit Temperaturstabilisierung
DE 10 2008 013 098 B4
Mikrooptische Anordnung
DE 50 2005 013 490.7, EP 1 717 631 B1, US 7,301,690 B2
Mikrooptisches Element mit einem Substrat, an dem an einer optisch wirksamen Oberfläche mindestens eine Höhenstufe ausgebildet ist, Verfahren zu seiner Herstellung und Verwendungen
DE 10 2006 057 567 B4
Mikrooptisches reflektierendes Bauelement
CN 1982201 B, DE 10 2006 059 091 B4
Miniaturisiertes Fourier-transform-spektrometer
DE 50 2005 015 072.4, EP 1 637 850 B1
Objective
US 8,526,126 B2
Objektiv und Bildaufnahmesystem
DE 10 2010 040 030 B4
Optical device comprising a structure for avoiding reflections
CN 101281295 B
Optische Interferenzanordnung zur Einkopplung von elektromagnetischer Strahlung in einen photonischen Kristall oder Quasikristall
DE 10 2009 030 338 A1
Optische Linse mit fluidisch variabler Brennweite und Verfahren zum Herstellen derselben
DE 11 2010 005 674 T5
Optische Vorrichtung in gestapelter Bauweise und Verfahren zur Herstellung derselben
US 8,045,159 B2, DE 10 2008 019 600 A1
Optischer Empfänger für eine optische drahtlose Kommunikation
DE 10 2013 225 611 B4
Optischer Sensor zur Vermessung von Schweißelektroden
DE 10 2015 111 644 B3
Optisches Bauelement mit einem Aufbau zur Vermeidung von Reflexionen
DE 10 2008 012 810 B4, US 7,760,414 B2
Optisches System
DE 10 2010 039 255 A1
Optoelektronisches Bauelement mit einer Leuchtdiode und einem Lichtsensor
DE 503 06 813.6-08, EP 1 597 774 B1
Oszillierend auslenkbares mikromechanisches Element und Verfahren zum Betreiben des Elementes
DE 11 2006 003 849 B4, US 7,932,788 B2
Polarization independent electro-optically induced waveguide
CN 106170732 A, US 2016/0357037 A1
Position Sensor
US 8,605,293 B2
Positionssensor
DE 10 2010 029 818 A1
Production Method
US 9,620,375 B2
Projection apparatus for scanningly projection
US 7,847,997 B2
Projektionsvorrichtung
DE 501 05 156.2, EP 1 419 411 B1, US 6,843,568 B2
Projektionsvorrichtung zum scannenden Projizieren
ZL 2008 1 0083459.7, DE 10 2007 011 425 A1
Quasi-Statische Auslenkvorrichtung für Spektrometer
DE 502 10 665.4-08, EP 1 474 666 B1
Radiation generation device for generating electromagnetic radiation having an adjustable spectral composition, and method of producing same
US 8,351,032 B2
Readerantenne für einen Einsatz mit RFID-Transpondern
DE 10 2008 017 490 B4
Reduction of the dynamic deformation of translational mirrors using inertial masses
US 8,873,128 B2
Reduzierung der dynamischen Deformation von Translationsspiegeln mit Hilfe von trägen Massen
DE 10 2009 033 191 A1
RFID-Transponder mit einer integrierten Antennenanordnung
DE 10 2015 208 433 A1
Scanner und Verfahren zum Betreiben eines Scanners
DE 10 2005 002 190 B4, US 7,469,834 B2
Schutzstruktur für Halbleitersensoren
US 7,728,363 B2, DE 10 2006 052 863 A1
Semiconductor substrate and methods for the production thereof
US 8,357,944 B2
Sicherheitsmerkmal, Verfahren zum Herstellen eines Sicherheitsmerkmals und Verfahren zum Authentifizieren eines Benutzers unter Verwendung eines Sicherheitsmerkmals
DE 10 2015 212 618 A1
SLM Device and Method Combining Multiple Mirrors for High-Power Delivery
US 8,531,755 B2
SLM Height Error Compensation Method
KR 10-2009-0065477
Spectral Decomposition Device and Manufacturing the same
US 8,861,060 B2
Speicherzelle
DE 10 2014 205 130 A1
Spektralzerlegungsvorrichtung und Herstellung derselben
DE 10 2010 040 768 A1
Spektrometer
DE 502 08 089.2-08, EP 1 474 665 B1, US 7,034,936 B2
Spektrometer
US 7,027,152 B2
Spiegelobjektiv
DE 10 2008 027 518 B3
Strahlungserzeugungsvorrichtung zum Erzeugen einer elektromagnetischen Strahlung mit einer einstellbaren spektralen Zusammensetzung und Verfahren zur Herstellung derselben
DE 10 2009 046 831 B4
Substrat, das zumindest bereichsweise an einer Oberfläche mit einer Beschichtung eines Metalls versehen ist, sowie dessen Verwendung
DE 10 2005 048 774 B4
Torsionsfeder für mikromechanische Anwendungen
CN 1896557 B, DE 10 2005 033 801 B4, US 8,511,657 B2
Torsionsfederelement für die Aufhängung auslenkbarer mikromechanischer Elemente
CN 101426717 B, DE 11 2006 003 854 B4
Verbinder zur leitungsungebundenen Signalübertragung
DE 10 2012 212 254 B3
Verfahren und Strukturierung einer Nutzschicht eines Substrats
CN 101597021 B1, US 8,199,390 B2
Verfahren und Vorrichtung zur lokal definierten Bearbeitung an Oberflächen von Werkstücken mittels Laserlicht
DE 10 2015 217 523 A1
Verfahren zum Herstellen eines Bauelementes mit einem beweglichen Abschnitt
DE 10 2005 002 967 B4, US 7,396,740 B2, ZL 2006 1 0005939.2
Verfahren zum Herstellen eines kapazitiven Ultraschallwandlers und Anordnung einer Mehrzahl von kapazitiven Ultraschallwandlern
DE 10 2013 223 695 B4
Verfahren zum Korrigieren der Oberflächenform eines Elementes
JP 4777460
Verfahren zum Korrigieren der Oberflächenform eines Elements
DE 50 2006 005 949.5, EP 2 054 750 B1
Verfahren zum strukturabhängigen Füllen von Vertiefungen
DE 10 2016 206 769 B3
Verfahren zur Bestimmiung von Parametern einer Proximity-Funktion, insbesondere für die Korrektur des Proximity-Effekts bei der Elektronenstrahllithografie
DE 10 2009 049 787 B4
Verfahren zur Erfassung einer Offsetdrift bei einer Wheatstone-Meßbrücke
DE 10 2004 056 133 B4, DE 50 2005 000 638.0-08
Verfahren zur Erzeugung einer dreidimensionalen mikromechanischen Struktur aus zweidimensionalen Elementen und mikromechanisches Bauelement
DE 10 2008 012 826 B4
Verfahren zur Erzeugung einer mikro-mechanischen Struktur aus zweidimensionalen Elementen und mikromechanisches Bauelement
CN 101279711 B
Verfahren zur Erzeugung einer mikromechanischen Struktur
CN 101279712 B, DE 10 2008 013 116 B4
Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterstruktur, bei dem eine Gatestruktur mit einem Gatedielektrikumsmaterial für einen ferroelektrischen Transistor gebildet wird.
DE 10 2014 217 874 B3
Verfahren zur Herstellung einer Mikroelektronikschaltung sowie entsprechende Mikroelektronikschaltung
DE 10 2017 200 678 A1
Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils
DE 10 2004 015 142 B3, EP 1 714 172 B1, JP 4832423
Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils mittels oberflächenstrukturierender Laserbearbeitung
EP 1 714 172 B1, EP 2 003 474 B1
Verfahren zur Kompensation herstellungsbedingt auftretender Abweichungen bei der Herstellung mikromechanischer Elemente und deren Verwendung
DE 10 2006 043 388 B3
Verfahren zur Strukturierung einer Nutzschicht eines Substrats
DE 10 2008 026 886 B4
Verfahren, Vorrichtung und Computerprogrammprodukt zum Bestimmen eines isoelektrischen Punkts
DE 10 2014 207 730 A1
Verfahren, Vorrichtung und Computerprogrammprodukt zum Erkennen von Vorhofflimmern in einem Elektrokardiogramm
DE 10 2014 217 837 A1
Vorrichtung mit einem mikromechanischen Bauelement
DE 10 2014 201 095 A1
Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen einer Abbildung
DE 10 2004 050 351 B3, FI 125441 B, US 7,465,051 B2
Vorrichtung und Verfahren zum Häusen mikromechanischen oder mikrooptoelektronischen Systems
DE 10 2007 001 518 B4
Vorrichtung und Verfahren zur Bildprojektion und/oder Materialbearbeitung
DE 503 05 392.9-08, EP 1 652 377 B1, US 7,518,770 B2
Vorrichtung und Verfahren zur Durchführung einer berührungslosen Messung am Inhalt eines Behälters
DE 10 2010 043 131 B4
Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung eines Materials
DE 10 2013 222 349 B3
Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines optischen Musters aus Bildpunkten in einer Bildebene
DE 10 2016 204 703 A1
Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung oder Regelung eines oszillierend auslenkbaren mikromechanischen Elements
US 7,977,897 B2
Vorrichtung zum Entwerfen eines mikromechanische Bauelements mit angepasster Empfindlichkeit, Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements und eines mikromechanischen Systems
DE 10 2007 021 920 B4
Vorrichtung, Verfahren und System zum Prüfen eines Schallwandlers
DE 10 2015 206 225 A1
Zeilenkamera für sprektrale Bilderfassung
DE 10 2006 019 840 B4, US 7,728,973 B2