Jahr Year | Titel/Autor:in Title/Author | Publikationstyp Publication Type |
2021 |
Process influences on the microstructure of BEoL integrated ferroelectric hafnium zirconium oxide
Lederer, M.; Lehninger, D.; Abdulazhanov, S.; Reck, A.; Olivo, R.; Kämpfe, T.; Seidel, K. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Electric field-induced crystallization of ferroelectric hafnium zirconium oxide
Lederer, M.; Abdulazhanov, S.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Eng, L.M. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
On the Origin of Wake-Up and Antiferroelectric-Like Behavior in Ferroelectric Hafnium Oxide
Lederer, M.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Abdulazhanov, S.; Kämpfe, T.; Kirbach, S.; Mart, C.; Seidel, K.; Eng, L.M. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Tunability of Ferroelectric Hafnium Zirconium Oxide for Varactor Applications
Abdulazhanov, S.; Lederer, M.; Lehninger, D.; Mart, C.; Ali, T.; Wang, D.; Olivo, R.; Emara, J.; Kämpfe, T.; Gerlach, G. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
The effect of temperature on the ferroelectric properties of Hafnium Zirconium Oxide MFM thin-film varactors
Abdulazhanov, S.; Lederer, M.; Lehninger, D.; Ali, T.; Olivo, R.; Kämpfe, T. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Influence of antiferroelectric-like behavior on tuning properties of ferroelectric HZO-based varactors
Abdulazhanov, S.; Lederer, M.; Lehninger, D.; Ali, T.; Emara, J.; Olivo, R.; Kämpfe, T. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
RF-Characterization of HZO Thin Film Varactors
Abdulazhanov, S.; Le, Q.H.; Huynh, D.K.; Wang, D.; Lederer, M.; Olivo, R.; Mertens, K.; Emara, J.; Kämpfe, T.; Gerlach, G. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Spatial Light Modulator-Based Architecture to Implement a Super-Resolved Compressive Instrument for Earth Observation
Raimondi, V.; Acampora, L.; Amato, G.; Baldi, M.; Berndt, D.; Dauderstädt, U.A.; Bianchi, A.; Bianchi, T.; Borrelli, D.; Colcelli, V.; Corti, C.; Corti, F.; Corti, M.; Cox, N.; Dauderstädt, U.A.; Dürr, P.; Francés González, S.; Frosini, P.; Guzzi, D.; Huntingford, J.; Kunze, D.; Labate, D.; Lamquin, N.; Lastri, C.; Magli, E.; Nardino, V.; Pache, C.; Palombi, L.; Pettinelli, I.; Pilato, G.; Pollini, A.; Rossini, L.; Suetta, E.; Taricco, D.; Valsesia, D.; Wagner, M. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Atomic layer deposition of textured Li4Ti5O12: A high-power and long life-cycle life anode for lithium-ion thin-film batteries
Speulmanns, J.; Kia, A.M.; Bönhardt, S.; Weinreich, W.; Adelhelm, P. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Nonlinearity of balanced mems loudspeakers: Optical experiments and numerical modeling using time-harmonic signals
Melnikov, A.; Michael, S.; Wall, F.; Kaiser, B.; Mrosk, A.; Schuffenhauer, D.; Monsalve, J.; Sergiu, L.; Schenk, H.A.G.; Ehrig, L.; Conrad, H.; Ahnert, M.; Schenk, H. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
1T1C FeRAM Memory Array Based on Ferroelectric HZO With Capacitor Under Bitline
Okuno, J.; Kunihiro, T.; Konishi, K.; Materano, M.; Ali, T.; Kuehnel, K.; Seidel, K.; Mikolajick, T.; Schroeder, U.; Tsukamoto, M.; Umebayashi, T. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Ferroelectric Field Effect Transistors as a Synapse for Neuromorphic Application
Lederer, M.; Kämpfe, T.; Ali, T.; Müller, F.; Olivo, R.; Hoffmann, R.; Laleni, N.; Seidel, K. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Enabling Ferroelectric Memories in BEoL-towards advanced neuromorphic computing architectures
Lehninger, D.; Lederer, M.; Ali, T.; Kämpfe, T.; Mertens, K.; Seidel, K. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Substrate-dependent differences in ferroelectric behavior and phase diagram of Si-doped hafnium oxide
Lederer, M.; Mertens, K.; Olivo, R.; Kühnel, K.; Lehninger, D.; Ali, T.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Eng, L.M. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Impact of the Nonlinear Dielectric Hysteresis Properties of a Charge Trap Layer in a Novel Hybrid High-Speed and Low-Power Ferroelectric or Antiferroelectric HSO/HZO Boosted Charge Trap Memory
Ali, T.; Mertens, K.; Olivo, R.; Rudolph, M.; Oehler, S.; Kuhnel, K.; Lehninger, D.; Muller, F.; Hoffmann, R.; Schramm, P.; Biedermann, K.; Metzger, J.; Binder, R.; Czernohorsky, M.; Kampfe, T.; Muller, J.; Seidel, K.; Houdt, J. Van; Eng, L.M. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
High-endurance and low-voltage operation of 1T1C FeRAM arrays for nonvolatile memory application
Okuno, J.; Kunihiro, T.; Konishi, K.; Maemura, H.; Shuto, Y.; Sugaya, F.; Materano, M.; Ali, T.; Lederer, M.; Kuehnel, K.; Seidel, K.; Schroeder, U.; Mikolajick, T.; Tsukamoto, M.; Umebayashi, T. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
A FeFET with a novel MFMFIS gate stack: Towards energy-efficient and ultrafast NVMs for neuromorphic computing
Ali, T.; Mertens, K.; Kühnel, K.; Rudolph, M.; Oehler, S.; Lehninger, D.; Müller, F.; Revello, R.; Hoffmann, R.; Zimmermann, K.; Kämpfe, T.; Czernohorsky, M.; Seidel, K.; Houdt, J. van; Eng, L.M. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
A Fully Integrated Ferroelectric Thin-Film-Transistor - Influence of Device Scaling on Threshold Voltage Compensation in Displays
Lehninger, D.; Ellinger, M.; Ali, T.; Li, S.; Mertens, K.; Lederer, M.; Olivio, R.; Kampfe, T.; Hanisch, N.; Biedermann, K.; Rudolph, M.; Brackmann, V.; Sanctis, C.; Jank, M.; Seidel, K. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Aging in Ferroelectric Si-Doped Hafnium Oxide Thin Films
Mart, C.; Kohlenbach, N.-D.; Kühnel, K.; Eßlinger, S.; Czernohorsky, M.; Ali, T.; Weinreich, W.; Eng, L.M. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Microstructural implications for neuromorphic synapses based on ferroelectric hafnium oxide
Müller, F.; Lederer, M.; Olivo, R.; Reck, A.; Ali, T.; Seidel, K.; Kämpfe, T. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Influence of microstructure on the variability and current percolation paths in ferroelectric hafnium oxide based neuromorphic FeFET synapses
Lederer, M.; Müller, F.; Varanasi, A.; Olivio, R.; Mertens, K.; Lehninger, D.; Raffel, Y.; Hoffmann, R.; Ali, T.; Seidel, K.; Kämpfe, T.; Eng, L.M. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Room temperature PVD TiN to improve the ferroelectric properties of HZO films in the BEoL
Lehninger, D.; Mertens, K.; Gerlich, L.; Lederer, M.; Ali, T.; Seidel, K. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Optimizing Ferroelectric and Interface Layers in HZO-Based FTJs for Neuromorphic Applications
Sünbül, A.; Ali, T.; Mertens, K.; Revello, R.; Lehninger, D.; Müller, F.; Lederer, M.; Kühnel, K.; Rudolph, M.; Oehler, S.; Hoffmann, R.; Zimmermann, K.; Biedermann, K.; Schramm, P.; Czernohorsky, M.; Seidel, K.; Kämpfe, T.; Eng, L.M. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Current percolation path impacting switching behavior of ferroelectric FETs
Müller, F.; Lederer, M.; Olivo, R.; Ali, T.; Hoffmann, R.; Mulaosmanovic, H.; Beyer, S.; Dünkel, S.; Müller, J.; Müller, S.; Seidel, K.; Gerlach, G. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Impact of the interface layer on the cycling behaviour and retention of ferroelectric hafnium oxide
Lederer, M.; Mertens, K.; Kia, A.M.; Emara, J.; Olivo, R.; Raffel, Y.; Lehninger, D.; Ali, T.; Kühnel, K.; Seidel, K.; Kämpfe, T.; Eng, L.M. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Ferroelektrischer Dünnschichttransistor und Verfahren zum Herstellen eines ferroelektrischen Dünnschichttransistors
Ali, Tarek Nadi Ismail; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad |
Patent
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2021 |
Influence of Annealing Temperature on the Structural and Electrical Properties of Si-Doped Ferroelectric Hafnium Oxide
Lederer, M.; Bagul, P.; Lehninger, D.; Mertens, K.; Reck, A.; Olivo, R.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Eng, L.M. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Impact of the SiO2 interface layer on the crystallographic texture of ferroelectric hafnium oxide
Lederer, M.; Reck, A.; Mertens, K.; Olivo, R.; Bagul, P.; Kia, A.; Volkmann, B.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Eng, L.M. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
SmartSpectrometer - Embedded Optical Spectroscopy for Applications in Agriculture and Industry
Krause, Julius; Grüger, Heinrich; Gebauer, Lucie; Zheng, Xiaorong; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Kicherer, Anna; Gruna, Robin; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Kinetics of the Light and Elevated Temperature Induced Degradation and Regeneration of Quasi-Monocrystalline Silicon Solar Cells
Wehmeier, N.; Fischer, G.; Herlufsen, S.; Wolny, F.; Wagner, M.; Bothe, K.; Müller, M. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
A 61-GHz RFID frontend with SiGe transceiver MMIC and SIW coupling network
Funke, Dominic A.; Hansen, Steffen; Bredendiek, Christian; Grenter, Thorben; Bögel, Gerd vom; Harutyunyan, Armen; Fiedler, Raik; Heinig, Andreas; Pohl, Nils |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Spectroscopic analysis of ultra-thin TiN as a diffusion barrier for lithium-ion batteries by ToF-SIMS, XPS, and EELS
Kia, A.M.; Speulmanns, J.; Bönhardt, S.; Emara, J.; Kühnel, K.; Haufe, N.; Weinreich, W. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Multi‐Level Switching and Reversible Current Driven Domain‐Wall Motion in Single CoFeB/MgO/CoFeB‐Based Perpendicular Magnetic Tunnel Junctions
Lv, H.; Fidalgo, J.; Silva, A.V.; Leitao, D.C.; Kämpfe, T.; Langer, J.; Wrona, J.; Ocker, B.; Freitas, P.P.; Cardoso, S. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Thermo Optical Phase Shifter with Low Thermal Crosstalk for SOI Strip Waveguide
Sabouri, S.; Mendoza Velasco, L.A.; Catuneanu, M.; Namdari, M.; Jamshidi, K. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Stable, Low Power and Bit-Interleaving Aware SRAM Memory for Multi-Core Processing Elements
Yadav, N.; Kim, Y.; Li, S.; Choi, K.K. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Ferroelectric and antiferroelectric Hf/Zr oxide films: Past, present and future
Triyoso, D.H.; Clark, R.D.; Weinreich, W.; Mart, C.; Kämpfe, T.; Consiglio, S.; Mukundan, V.; Diebold, A.C.; Tapily, K.; Wajda, C.; Leusink, G. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Balanced electrostatic all-silicon MEMS speakers
Schenk, H.A.G.; Ehrig, L.; Wall, F.; Kaiser, B.; Stolz, M.; Langa, S.; Schuffenhauer, D.; Monsalve Guaracao, J.M.; Melnikov, A.; Conrad, H. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Large-Signal Equivalent-Circuit Model of Asymmetric Electrostatic Transducers
Monsalve, J.M.; Melnikov, A.; Kaiser, B.; Schuffenhauer, D.; Stolz, M.; Ehrig, L.; Schenk, H.A.G.; Conrad, H.; Schenk, H. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
MEMS mit hohem Aspektverhältnis
Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert |
Patent
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2021 |
MEMS component, assembly comprising the MEMS component and method for operating the MEMS component
Kaiser, Bert; Monsalve Guaracao, Jorge Mario; Conrad, Holger |
Patent
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2021 |
Mikroelektromechanischer Antrieb zum Bewegen von Objekten
Shashank, Shashank; Narimani, Keyvan; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Conrad, Holger |
Patent
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2021 |
Enhanced pyroelectric response at morphotropic and field-induced phase transitions in ferroelectric hafnium oxide thin films
Mart, C.; Kämpfe, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Kolodinski, S.; Wiatr, M.; Weinreich, W.; Eng, L.M. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Doping concentration dependent piezoelectric behavior of Si:HfO2 thin-films
Kirbach, S.; Lederer, M.; Eßlinger, S.; Mart, C.; Czernohorsky, M.; Weinreich, W.; Wallmersperger, T. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Analog Spatial Light Modulators Based on Micromirror Arrays
Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Gehner, A.; Wagner, M.; Schenk, H. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Validation of Computational Procedures for the Progressive Collapse Analysis of Reinforced Concrete Structures
Dmitriev, A.; Lalin, V.; Melnikov, A. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Challenges of monolithic MEMS-on-CMOS integration for spatial light modulators
Hohle, C.; Döring, S.; Friedrichs, M.; Gehner, A.; Rudloff, D.; Schulze, M.; Stübner, R.; Trenkler, D. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
MEMS-Aktuator-Element und MEMS-Aktuator-Array mit einer Mehrzahl von MEMS-Aktuator-Elementen
Dürr, Peter; Neudert, Andreas; Felsberg, Linda |
Patent
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2021 |
MEMS-Aktuator und MEMS-Aktuator-Array mit einer Mehrzahl von MEMS-Aktuatoren
Dürr, Peter |
Patent
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2021 |
240-GHz Reflectometer-Based Dielectric Sensor with Integrated Transducers in a 130-nm SiGe BiCMOS Technology
Wang, D.; Eissa, M.H.; Schmalz, K.; Kämpfe, T.; Kissinger, D. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
WS2 and MoS2 counter electrode materials for dye‐sensitized solar cells
Rashidi, S.; Rashidi, S.; Heydari, R.K.; Esmaeili, S.; Tran, N.; Thangi, D.; Wei, W. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Mikromechanischer Strahlungsdetektor, mikromechanisches Spektrometer und Verfahren zur Strahlungsmessung
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Eßlinger, Sophia |
Patent
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2021 |
Multipath lens for eye-safe optical wireless communications
Kirrbach, R.; Schneider, T.; Faulwaßer, M.; Zielant, K. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Drahtloser Datenbus
Schneider, Tobias; Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Noack, Alexander |
Patent
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2021 |
Method for controlling a driver circuit, driver circuit, system comprising a driver circuit and method for manufacturing an integrated circuit
Fiedler, Raik; Pietzsch, Marcus |
Patent
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2021 |
Concept and first results on a miniaturized IMS chip with integrated DMS ion filter and detector
Graf, A.; Funke, N.; Hild, Olaf R. |
Poster
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2021 |
XPS Diffusion analysis of Ta(N)/Ru Diffusion Barriers for Cobalt Interconnects
Wehring, B.; Gerlich, L.; Uhlig, B. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Prozesskette zur Faltmontage für miniaturisierte komplexe Optiksysteme
Grüger, H.; Sdrenka, S.; Stein, K.; Sabiha, M.; Schulz, M.; Ziegmann, G. |
Vortrag
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2021 |
Exploiting FeFET Switching Stochasticity for Low-Power Reconfigurable Physical Unclonable Function
Guo, X.; Ma, X.; Müller, F.; Olivo, R.; Wu, J.; Ni, K.; Kämpfe, T.; Liu, Y.; Yang, H.; Li, X. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Silver- and Silver-Hydrogen-Related Defects in Silicon
Gwozdz, K.; Kolkovsky, V. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
A 61-GHz Rectifier Using Internal Voltage Cancellation and Body-Biasing Techniques in 22-nm FDSOI
Harutyunyan, A.; Landwehr, M. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Konfiguration von komplexen Transpondersystemen mittels modularer Firmware
Heinig, Andreas; Weder, Andreas |
Patent
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2021 |
Optimierte Datenübertragung für UHF-Transponder
Heinig, Andreas; Weder, Andreas |
Patent
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2021 |
Vakuumvorrichtung
Heinig, Andreas; Weder, Andreas |
Patent
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2021 |
Comparison of Analog and Noise Performance between Buried Channel versus Surface Devices in HKMG I/O Devices
Pirro, L.; Jayakumar, A.; Zimmerhackl, O.; Lipp, D.; Illgen, R.; Muehlhoff, A.; Pfuetzner, R.; Zaka, A.; Otto, M.; Hoentschel, J.; Raffel, Y.; Seidel, K.; Olivo, R. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
FeFET Multi-Bit Content-Addressable Memories for In-Memory Nearest Neighbor Search
Kazemi, A.; Sharifi, M.M.; Laguna, A.F.B.; Müller, F.; Yin, X.; Kämpfe, T.; Niemier, M.; Hu, X.S. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Empirical Large-Signal Modeling of mm-Wave FDSOI CMOS Based on Angelov Model
Le, Q.H.; Huynh, D.K.; Lehmann, S.; Zhao, Z.; Kämpfe, T.; Rudolph, M. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Coulomb-actuated microbeams revisited: Experimental and numerical modal decomposition of the saddle-node bifurcation
Melnikov, A.; Schenk, H.A.G.; Monsalve, J.M.; Wall, F.; Stolz, M.; Mrosk, A.; Langa, S.; Kaiser, B. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
MEMS component with in-plane movable element and method for operating same
Kaiser, Bert |
Patent
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2021 |
All-silicon ultrasonic recognition of the environment
Kaiser, Bert |
Vortrag
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2021 |
Two-Photon-Lithography Substrate Reflection and Absorption Compensation for Additive Manufacturing of Metamaterials on MEMS
Schweiger, S.; Koch, S.G.; Schenk, H. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers (CMUT) Utilized as Tactile Sensors
Köble, S.; Krenkel, M.; Koch, S.G.; Urbahn, C. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Empowering Robots for Multimodal Tactile Gripping using Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers
Koch, Sandro G.; Völz, Uwe; Lange, Nicolas; Köble, Sören; Schubert, F.; Richter, F.; Poongodan, P.K .; Vanselow, F.; Urbahn, C. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Hydrogen-Related Defects in Insulators
Kolkovsky, V. |
Zeitschriftenaufsatz
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2021 |
Sensor mit einer Festkörper-Schichtstruktur und Verfahren zur Herstellung eines Sensors
Kurth, Eberhard; Kunath, Christian |
Patent
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2021 |
Bewegbares Piezoelement und Verfahren zum Herstellen eines bewegbaren Piezoelements
Kämpfe, Thomas; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad |
Patent
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2021 |
Widerstandsnetzwerk
Lederer, Maximilian; Kämpfe, Thomas |
Patent
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2021 |
Piezoelektrisches Element und Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Elements
Kämpfe, Thomas |
Patent
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2021 |
Investigation of High Electric Field Degradation Effects on Nanoscopic Electrostatic Drive Actuators (NED)
Mahanta, Trideep |
Master Thesis
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2021 |
Smart System for Early Detection of Severe COVID-19 Cases
Scholles, M. |
Konferenzbeitrag
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2021 |
Optical microsystems for advanced imaging in biomedicine
Scholles, Michael |
Abstract
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2021 |
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme. Jahresbericht 2020/2021
| Jahresbericht
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