Scientific publications

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Our scientific publications

Jahr
Year
Titel/Autor:in
Title/Author
Publikationstyp
Publication Type
2021 Process influences on the microstructure of BEoL integrated ferroelectric hafnium zirconium oxide
Lederer, M.; Lehninger, D.; Abdulazhanov, S.; Reck, A.; Olivo, R.; Kämpfe, T.; Seidel, K.
Konferenzbeitrag
2021 Electric field-induced crystallization of ferroelectric hafnium zirconium oxide
Lederer, M.; Abdulazhanov, S.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021 On the Origin of Wake-Up and Antiferroelectric-Like Behavior in Ferroelectric Hafnium Oxide
Lederer, M.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Abdulazhanov, S.; Kämpfe, T.; Kirbach, S.; Mart, C.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Tunability of Ferroelectric Hafnium Zirconium Oxide for Varactor Applications
Abdulazhanov, S.; Lederer, M.; Lehninger, D.; Mart, C.; Ali, T.; Wang, D.; Olivo, R.; Emara, J.; Kämpfe, T.; Gerlach, G.
Zeitschriftenaufsatz
2021 The effect of temperature on the ferroelectric properties of Hafnium Zirconium Oxide MFM thin-film varactors
Abdulazhanov, S.; Lederer, M.; Lehninger, D.; Ali, T.; Olivo, R.; Kämpfe, T.
Konferenzbeitrag
2021 Influence of antiferroelectric-like behavior on tuning properties of ferroelectric HZO-based varactors
Abdulazhanov, S.; Lederer, M.; Lehninger, D.; Ali, T.; Emara, J.; Olivo, R.; Kämpfe, T.
Zeitschriftenaufsatz
2021 RF-Characterization of HZO Thin Film Varactors
Abdulazhanov, S.; Le, Q.H.; Huynh, D.K.; Wang, D.; Lederer, M.; Olivo, R.; Mertens, K.; Emara, J.; Kämpfe, T.; Gerlach, G.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Spatial Light Modulator-Based Architecture to Implement a Super-Resolved Compressive Instrument for Earth Observation
Raimondi, V.; Acampora, L.; Amato, G.; Baldi, M.; Berndt, D.; Dauderstädt, U.A.; Bianchi, A.; Bianchi, T.; Borrelli, D.; Colcelli, V.; Corti, C.; Corti, F.; Corti, M.; Cox, N.; Dauderstädt, U.A.; Dürr, P.; Francés González, S.; Frosini, P.; Guzzi, D.; Huntingford, J.; Kunze, D.; Labate, D.; Lamquin, N.; Lastri, C.; Magli, E.; Nardino, V.; Pache, C.; Palombi, L.; Pettinelli, I.; Pilato, G.; Pollini, A.; Rossini, L.; Suetta, E.; Taricco, D.; Valsesia, D.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2021 Atomic layer deposition of textured Li4Ti5O12: A high-power and long life-cycle life anode for lithium-ion thin-film batteries
Speulmanns, J.; Kia, A.M.; Bönhardt, S.; Weinreich, W.; Adelhelm, P.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Nonlinearity of balanced mems loudspeakers: Optical experiments and numerical modeling using time-harmonic signals
Melnikov, A.; Michael, S.; Wall, F.; Kaiser, B.; Mrosk, A.; Schuffenhauer, D.; Monsalve, J.; Sergiu, L.; Schenk, H.A.G.; Ehrig, L.; Conrad, H.; Ahnert, M.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2021 1T1C FeRAM Memory Array Based on Ferroelectric HZO With Capacitor Under Bitline
Okuno, J.; Kunihiro, T.; Konishi, K.; Materano, M.; Ali, T.; Kuehnel, K.; Seidel, K.; Mikolajick, T.; Schroeder, U.; Tsukamoto, M.; Umebayashi, T.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Ferroelectric Field Effect Transistors as a Synapse for Neuromorphic Application
Lederer, M.; Kämpfe, T.; Ali, T.; Müller, F.; Olivo, R.; Hoffmann, R.; Laleni, N.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Enabling Ferroelectric Memories in BEoL-towards advanced neuromorphic computing architectures
Lehninger, D.; Lederer, M.; Ali, T.; Kämpfe, T.; Mertens, K.; Seidel, K.
Konferenzbeitrag
2021 Substrate-dependent differences in ferroelectric behavior and phase diagram of Si-doped hafnium oxide
Lederer, M.; Mertens, K.; Olivo, R.; Kühnel, K.; Lehninger, D.; Ali, T.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Impact of the Nonlinear Dielectric Hysteresis Properties of a Charge Trap Layer in a Novel Hybrid High-Speed and Low-Power Ferroelectric or Antiferroelectric HSO/HZO Boosted Charge Trap Memory
Ali, T.; Mertens, K.; Olivo, R.; Rudolph, M.; Oehler, S.; Kuhnel, K.; Lehninger, D.; Muller, F.; Hoffmann, R.; Schramm, P.; Biedermann, K.; Metzger, J.; Binder, R.; Czernohorsky, M.; Kampfe, T.; Muller, J.; Seidel, K.; Houdt, J. Van; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021 High-endurance and low-voltage operation of 1T1C FeRAM arrays for nonvolatile memory application
Okuno, J.; Kunihiro, T.; Konishi, K.; Maemura, H.; Shuto, Y.; Sugaya, F.; Materano, M.; Ali, T.; Lederer, M.; Kuehnel, K.; Seidel, K.; Schroeder, U.; Mikolajick, T.; Tsukamoto, M.; Umebayashi, T.
Konferenzbeitrag
2021 A FeFET with a novel MFMFIS gate stack: Towards energy-efficient and ultrafast NVMs for neuromorphic computing
Ali, T.; Mertens, K.; Kühnel, K.; Rudolph, M.; Oehler, S.; Lehninger, D.; Müller, F.; Revello, R.; Hoffmann, R.; Zimmermann, K.; Kämpfe, T.; Czernohorsky, M.; Seidel, K.; Houdt, J. van; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021 A Fully Integrated Ferroelectric Thin-Film-Transistor - Influence of Device Scaling on Threshold Voltage Compensation in Displays
Lehninger, D.; Ellinger, M.; Ali, T.; Li, S.; Mertens, K.; Lederer, M.; Olivio, R.; Kampfe, T.; Hanisch, N.; Biedermann, K.; Rudolph, M.; Brackmann, V.; Sanctis, C.; Jank, M.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Aging in Ferroelectric Si-Doped Hafnium Oxide Thin Films
Mart, C.; Kohlenbach, N.-D.; Kühnel, K.; Eßlinger, S.; Czernohorsky, M.; Ali, T.; Weinreich, W.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Microstructural implications for neuromorphic synapses based on ferroelectric hafnium oxide
Müller, F.; Lederer, M.; Olivo, R.; Reck, A.; Ali, T.; Seidel, K.; Kämpfe, T.
Konferenzbeitrag
2021 Influence of microstructure on the variability and current percolation paths in ferroelectric hafnium oxide based neuromorphic FeFET synapses
Lederer, M.; Müller, F.; Varanasi, A.; Olivio, R.; Mertens, K.; Lehninger, D.; Raffel, Y.; Hoffmann, R.; Ali, T.; Seidel, K.; Kämpfe, T.; Eng, L.M.
Konferenzbeitrag
2021 Room temperature PVD TiN to improve the ferroelectric properties of HZO films in the BEoL
Lehninger, D.; Mertens, K.; Gerlich, L.; Lederer, M.; Ali, T.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Optimizing Ferroelectric and Interface Layers in HZO-Based FTJs for Neuromorphic Applications
Sünbül, A.; Ali, T.; Mertens, K.; Revello, R.; Lehninger, D.; Müller, F.; Lederer, M.; Kühnel, K.; Rudolph, M.; Oehler, S.; Hoffmann, R.; Zimmermann, K.; Biedermann, K.; Schramm, P.; Czernohorsky, M.; Seidel, K.; Kämpfe, T.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Current percolation path impacting switching behavior of ferroelectric FETs
Müller, F.; Lederer, M.; Olivo, R.; Ali, T.; Hoffmann, R.; Mulaosmanovic, H.; Beyer, S.; Dünkel, S.; Müller, J.; Müller, S.; Seidel, K.; Gerlach, G.
Konferenzbeitrag
2021 Impact of the interface layer on the cycling behaviour and retention of ferroelectric hafnium oxide
Lederer, M.; Mertens, K.; Kia, A.M.; Emara, J.; Olivo, R.; Raffel, Y.; Lehninger, D.; Ali, T.; Kühnel, K.; Seidel, K.; Kämpfe, T.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Ferroelektrischer Dünnschichttransistor und Verfahren zum Herstellen eines ferroelektrischen Dünnschichttransistors
Ali, Tarek Nadi Ismail; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad
Patent
2021 Influence of Annealing Temperature on the Structural and Electrical Properties of Si-Doped Ferroelectric Hafnium Oxide
Lederer, M.; Bagul, P.; Lehninger, D.; Mertens, K.; Reck, A.; Olivo, R.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Impact of the SiO2 interface layer on the crystallographic texture of ferroelectric hafnium oxide
Lederer, M.; Reck, A.; Mertens, K.; Olivo, R.; Bagul, P.; Kia, A.; Volkmann, B.; Kämpfe, T.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021 SmartSpectrometer - Embedded Optical Spectroscopy for Applications in Agriculture and Industry
Krause, Julius; Grüger, Heinrich; Gebauer, Lucie; Zheng, Xiaorong; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Kicherer, Anna; Gruna, Robin; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen
Zeitschriftenaufsatz
2021 Kinetics of the Light and Elevated Temperature Induced Degradation and Regeneration of Quasi-Monocrystalline Silicon Solar Cells
Wehmeier, N.; Fischer, G.; Herlufsen, S.; Wolny, F.; Wagner, M.; Bothe, K.; Müller, M.
Zeitschriftenaufsatz
2021 A 61-GHz RFID frontend with SiGe transceiver MMIC and SIW coupling network
Funke, Dominic A.; Hansen, Steffen; Bredendiek, Christian; Grenter, Thorben; Bögel, Gerd vom; Harutyunyan, Armen; Fiedler, Raik; Heinig, Andreas; Pohl, Nils
Konferenzbeitrag
2021 Spectroscopic analysis of ultra-thin TiN as a diffusion barrier for lithium-ion batteries by ToF-SIMS, XPS, and EELS
Kia, A.M.; Speulmanns, J.; Bönhardt, S.; Emara, J.; Kühnel, K.; Haufe, N.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Multi‐Level Switching and Reversible Current Driven Domain‐Wall Motion in Single CoFeB/MgO/CoFeB‐Based Perpendicular Magnetic Tunnel Junctions
Lv, H.; Fidalgo, J.; Silva, A.V.; Leitao, D.C.; Kämpfe, T.; Langer, J.; Wrona, J.; Ocker, B.; Freitas, P.P.; Cardoso, S.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Thermo Optical Phase Shifter with Low Thermal Crosstalk for SOI Strip Waveguide
Sabouri, S.; Mendoza Velasco, L.A.; Catuneanu, M.; Namdari, M.; Jamshidi, K.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Stable, Low Power and Bit-Interleaving Aware SRAM Memory for Multi-Core Processing Elements
Yadav, N.; Kim, Y.; Li, S.; Choi, K.K.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Ferroelectric and antiferroelectric Hf/Zr oxide films: Past, present and future
Triyoso, D.H.; Clark, R.D.; Weinreich, W.; Mart, C.; Kämpfe, T.; Consiglio, S.; Mukundan, V.; Diebold, A.C.; Tapily, K.; Wajda, C.; Leusink, G.
Konferenzbeitrag
2021 Balanced electrostatic all-silicon MEMS speakers
Schenk, H.A.G.; Ehrig, L.; Wall, F.; Kaiser, B.; Stolz, M.; Langa, S.; Schuffenhauer, D.; Monsalve Guaracao, J.M.; Melnikov, A.; Conrad, H.
Konferenzbeitrag
2021 Large-Signal Equivalent-Circuit Model of Asymmetric Electrostatic Transducers
Monsalve, J.M.; Melnikov, A.; Kaiser, B.; Schuffenhauer, D.; Stolz, M.; Ehrig, L.; Schenk, H.A.G.; Conrad, H.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2021 MEMS mit hohem Aspektverhältnis
Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert
Patent
2021 MEMS component, assembly comprising the MEMS component and method for operating the MEMS component
Kaiser, Bert; Monsalve Guaracao, Jorge Mario; Conrad, Holger
Patent
2021 Mikroelektromechanischer Antrieb zum Bewegen von Objekten
Shashank, Shashank; Narimani, Keyvan; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Conrad, Holger
Patent
2021 Enhanced pyroelectric response at morphotropic and field-induced phase transitions in ferroelectric hafnium oxide thin films
Mart, C.; Kämpfe, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Kolodinski, S.; Wiatr, M.; Weinreich, W.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Doping concentration dependent piezoelectric behavior of Si:HfO2 thin-films
Kirbach, S.; Lederer, M.; Eßlinger, S.; Mart, C.; Czernohorsky, M.; Weinreich, W.; Wallmersperger, T.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Analog Spatial Light Modulators Based on Micromirror Arrays
Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Gehner, A.; Wagner, M.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Validation of Computational Procedures for the Progressive Collapse Analysis of Reinforced Concrete Structures
Dmitriev, A.; Lalin, V.; Melnikov, A.
Konferenzbeitrag
2021 Challenges of monolithic MEMS-on-CMOS integration for spatial light modulators
Hohle, C.; Döring, S.; Friedrichs, M.; Gehner, A.; Rudloff, D.; Schulze, M.; Stübner, R.; Trenkler, D.
Konferenzbeitrag
2021 MEMS-Aktuator-Element und MEMS-Aktuator-Array mit einer Mehrzahl von MEMS-Aktuator-Elementen
Dürr, Peter; Neudert, Andreas; Felsberg, Linda
Patent
2021 MEMS-Aktuator und MEMS-Aktuator-Array mit einer Mehrzahl von MEMS-Aktuatoren
Dürr, Peter
Patent
2021 240-GHz Reflectometer-Based Dielectric Sensor with Integrated Transducers in a 130-nm SiGe BiCMOS Technology
Wang, D.; Eissa, M.H.; Schmalz, K.; Kämpfe, T.; Kissinger, D.
Zeitschriftenaufsatz
2021 WS2 and MoS2 counter electrode materials for dye‐sensitized solar cells
Rashidi, S.; Rashidi, S.; Heydari, R.K.; Esmaeili, S.; Tran, N.; Thangi, D.; Wei, W.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Mikromechanischer Strahlungsdetektor, mikromechanisches Spektrometer und Verfahren zur Strahlungsmessung
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Eßlinger, Sophia
Patent
2021 Multipath lens for eye-safe optical wireless communications
Kirrbach, R.; Schneider, T.; Faulwaßer, M.; Zielant, K.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Drahtloser Datenbus
Schneider, Tobias; Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Noack, Alexander
Patent
2021 Method for controlling a driver circuit, driver circuit, system comprising a driver circuit and method for manufacturing an integrated circuit
Fiedler, Raik; Pietzsch, Marcus
Patent
2021 Concept and first results on a miniaturized IMS chip with integrated DMS ion filter and detector
Graf, A.; Funke, N.; Hild, Olaf R.
Poster
2021 XPS Diffusion analysis of Ta(N)/Ru Diffusion Barriers for Cobalt Interconnects
Wehring, B.; Gerlich, L.; Uhlig, B.
Konferenzbeitrag
2021 Prozesskette zur Faltmontage für miniaturisierte komplexe Optiksysteme
Grüger, H.; Sdrenka, S.; Stein, K.; Sabiha, M.; Schulz, M.; Ziegmann, G.
Vortrag
2021 Exploiting FeFET Switching Stochasticity for Low-Power Reconfigurable Physical Unclonable Function
Guo, X.; Ma, X.; Müller, F.; Olivo, R.; Wu, J.; Ni, K.; Kämpfe, T.; Liu, Y.; Yang, H.; Li, X.
Konferenzbeitrag
2021 Silver- and Silver-Hydrogen-Related Defects in Silicon
Gwozdz, K.; Kolkovsky, V.
Zeitschriftenaufsatz
2021 A 61-GHz Rectifier Using Internal Voltage Cancellation and Body-Biasing Techniques in 22-nm FDSOI
Harutyunyan, A.; Landwehr, M.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Konfiguration von komplexen Transpondersystemen mittels modularer Firmware
Heinig, Andreas; Weder, Andreas
Patent
2021 Optimierte Datenübertragung für UHF-Transponder
Heinig, Andreas; Weder, Andreas
Patent
2021 Vakuumvorrichtung
Heinig, Andreas; Weder, Andreas
Patent
2021 Comparison of Analog and Noise Performance between Buried Channel versus Surface Devices in HKMG I/O Devices
Pirro, L.; Jayakumar, A.; Zimmerhackl, O.; Lipp, D.; Illgen, R.; Muehlhoff, A.; Pfuetzner, R.; Zaka, A.; Otto, M.; Hoentschel, J.; Raffel, Y.; Seidel, K.; Olivo, R.
Konferenzbeitrag
2021 FeFET Multi-Bit Content-Addressable Memories for In-Memory Nearest Neighbor Search
Kazemi, A.; Sharifi, M.M.; Laguna, A.F.B.; Müller, F.; Yin, X.; Kämpfe, T.; Niemier, M.; Hu, X.S.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Empirical Large-Signal Modeling of mm-Wave FDSOI CMOS Based on Angelov Model
Le, Q.H.; Huynh, D.K.; Lehmann, S.; Zhao, Z.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Coulomb-actuated microbeams revisited: Experimental and numerical modal decomposition of the saddle-node bifurcation
Melnikov, A.; Schenk, H.A.G.; Monsalve, J.M.; Wall, F.; Stolz, M.; Mrosk, A.; Langa, S.; Kaiser, B.
Zeitschriftenaufsatz
2021 MEMS component with in-plane movable element and method for operating same
Kaiser, Bert
Patent
2021 All-silicon ultrasonic recognition of the environment
Kaiser, Bert
Vortrag
2021 Two-Photon-Lithography Substrate Reflection and Absorption Compensation for Additive Manufacturing of Metamaterials on MEMS
Schweiger, S.; Koch, S.G.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2021 Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers (CMUT) Utilized as Tactile Sensors
Köble, S.; Krenkel, M.; Koch, S.G.; Urbahn, C.
Konferenzbeitrag
2021 Empowering Robots for Multimodal Tactile Gripping using Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers
Koch, Sandro G.; Völz, Uwe; Lange, Nicolas; Köble, Sören; Schubert, F.; Richter, F.; Poongodan, P.K .; Vanselow, F.; Urbahn, C.
Konferenzbeitrag
2021 Hydrogen-Related Defects in Insulators
Kolkovsky, V.
Zeitschriftenaufsatz
2021 Sensor mit einer Festkörper-Schichtstruktur und Verfahren zur Herstellung eines Sensors
Kurth, Eberhard; Kunath, Christian
Patent
2021 Bewegbares Piezoelement und Verfahren zum Herstellen eines bewegbaren Piezoelements
Kämpfe, Thomas; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad
Patent
2021 Widerstandsnetzwerk
Lederer, Maximilian; Kämpfe, Thomas
Patent
2021 Piezoelektrisches Element und Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Elements
Kämpfe, Thomas
Patent
2021 Investigation of High Electric Field Degradation Effects on Nanoscopic Electrostatic Drive Actuators (NED)
Mahanta, Trideep
Master Thesis
2021 Smart System for Early Detection of Severe COVID-19 Cases
Scholles, M.
Konferenzbeitrag
2021 Optical microsystems for advanced imaging in biomedicine
Scholles, Michael
Abstract
2021 Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme. Jahresbericht 2020/2021
Jahresbericht
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