Das Leipziger Technologieunternehmen intelligent fluids (ehem. bubbles & beyond) qualifiziert in Zusammenarbeit mit dem Center Nanoelectronic Technologies (CNT) des Fraunhofer IPMS und lokalen Mikrochipherstellern innovative und umweltschonende Reinigungslösungen für die industrielle Volumenproduktion.
Die auf Phasenfluiden basierende Technologie setzt neue Standards in Sachen Umweltfreundlichkeit, Arbeitssicherheit und Anlagenverträglichkeit und stellt einen großen Schritt in Richtung Green Fab bei der Halbleiterproduktion dar.
Bei der Herstellung sind nun weniger Prozessschritte notwendig, was Einsparungen bei der Produktionszeit und den Verbrauchsmitteln mit sich bringt und neue Anwendungsszenarien bei der Prozessintegration ermöglicht. Im Gegensatz zu herkömmlichen Verfahren, bei denen z.B. Fotolacke mittels aggressiven Lösungsmitteln und zum Teil toxischen Chemikalien aufgelöst und im Anschluss aufwendig entsorgt werden, unterwandern Phasenfluide die entsprechenden Schichten, fragmentieren sie und „heben“ diese defektfrei von der Waferoberfläche ab. Im Anschluss werden das Phasenfluid und der abgelöste Fotolack mit DI-Wasser abgespült und rückstandsfrei entfernt.
„Mit intelligent fluids gibt es nun endlich ein physikalisch wirkendes Reinigungsprodukt, das CMOS-kompatibel ist und in die Halbleiterfertigung integriert werden kann.“ sagt der Wissenschaftler Matthias Rudolph vom Fraunhofer IPMS-CNT und wird durch Igor Eichinger (Category Manager intelligent fluids) ergänzt: „Da bei der Phasenfluidreinigung nur smarte und sanfte Inhaltsstoffe zum Einsatz kommen, setzt unsere Technologie neue Maßstäbe hinsichtlich Performance, Schadstoffreduzierung, biologischer Verträglichkeit und Arbeitssicherheit in der Mikrochipfertigung.“
Seit Jahren beliefert intelligent fluids namhafte Halbleiterhersteller in Europa, USA und Asien in den Bereichen Fotolackentfernung, Metal Lift-Off und Equipment Cleaning. Darüber hinaus laufen in der Screening Fab des Fraunhofer IPMS-CNT die Vorarbeiten für die Qualifizierung der neuesten intelligent fluids Technologie für Fotolackentfernung im Front-End Bereich. Dabei wurden die Phasenfluide vom Labormaßstab für den industriellen Einsatz in 300-mm-Fertigungsanlagen weiterentwickelt und auf ihre Einsatzfähigkeit in industrietypischen Fertigungsprozessen hin untersucht. In dem vom Sächsischen Staatsministerium für Wirtschaft, Arbeit und Verkehr (SMWA) geförderten Verbundprojekt (Antragsnummer 10284497) werden in den kommenden beiden Jahren die Produkte und Prozesse in eigenen Pilotlinien für die anschließende Industriefertigung qualifiziert.
Für Fachgespräche zum Thema präsentieren sich intelligent fluids an Stand B1-216 und Fraunhofer IPMS an Stand B2-317 vom 14. bis 17. November 2017 in München auf der SEMICON Europa, eine der größten internationalen Messen für Halbleiterprodukte, -stoffe und -dienstleistungen in Europa.
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme