- Der neue Hub wird modernste Messtechnik bereitstellen, um die Halbleiterforschung zu beschleunigen und Entwicklungsprojekte mit Chipherstellern und Ökosystempartnern in ganz Europa, insbesondere in ICAPS*-Marktsegmenten, voranzutreiben.
- Zusammenarbeit zur Beschleunigung des Lernprozesses, zur Entwicklung neuartiger Methoden und zur Erprobung neuer Messtechnikgeräte, Methoden, Algorithmen und Software
Applied Materials, Inc., der Marktführer für Materialtechniklösungen, und das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS, Deutschlands führendes Forschungszentrum für 300-mm-Halbleiter, haben eine wegweisende Zusammenarbeit ins Leben gerufen, um Europas größten Technologie-Hub für Halbleitermesstechnik und Prozessanalyse zu schaffen.
Der Technologie-Hub befindet sich im 300-mm-Reinraum des Fraunhofer IPMS in Dresden, im Herzen von Silicon Saxony, Europas größtem Halbleitercluster. Der Hub ist mit modernsten eBeam-Messtechnikgeräten von Applied Materials ausgestattet, darunter VeritySEM® CD-SEM-Systeme (Critical Dimension Scanning Electron Microscope), und wird von Ingenieuren und F&E-Experten von Applied Materials betreut.
Das Fraunhofer IPMS und seine Partner profitieren vom Zugang zu den branchenführenden eBeam-Messtechniksystemen von Applied. Das neue Technologiezentrum bietet fortschrittliche Messtechnik auf Wafer-Ebene in unserer industriellen CMOS-Umgebung mit der einzigartigen Fähigkeit des Fraunhofer IPMS, Wafer direkt mit Halbleiterherstellern zu verbinden.
Das gemeinsame Messtechnikzentrum wird die Lernzyklen und die Entwicklung neuer Anwendungen für Fraunhofer IPMS, Applied Materials und ihre Kunden und Partner in Europa beschleunigen. Dieses einzigartige Technologiezentrum wird in der Lage sein, Prozesse auf einer Vielzahl von Substratmaterialien und Waferdicken zu testen und zu qualifizieren, die für Anwendungen in der vielfältigen europäischen Halbleiterlandschaft von entscheidender Bedeutung sind.
Die Messtechnik ist für die Herstellung von Mikrochips von entscheidender Bedeutung, da sie die genauen Messungen ermöglicht, die für die präzise Überwachung und Kontrolle der Qualität einzelner Halbleiterfertigungsschritte und -abläufe erforderlich sind. Chiphersteller setzen Messtechnikgeräte an kritischen Punkten ein, um physikalische und elektrische Eigenschaften zu validieren und die Zielausbeute aufrechtzuerhalten.
*ICAPS = Internet der Dinge, Kommunikation, Automobilindustrie, Energie und Sensoren
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
