Digital Forum - Online Only / 06. März 2021 - 11. März 2021
SPIE Photonics West

Besuchen Sie unseren Vortrag auf dem SPIE Photonics West Digital Forum und erfahren Sie mehr über die Herausforderungen der monolithischen MEMS-on-CMOS Integration für Flächenlichtmodulatoren. Die MEMS-on-CMOS-Technologie ist eine Kombination aus kommerziell verfügbaren CMOS-Prozessen von Foundries mit anschließender MEMS-Bearbeitung in einer zweiten MEMS-Anlage. Das Fraunhofer IPMS nutzt die Oberflächenmikrobearbeitung auf 200-mm-Wafern für eine Vielzahl von MEMS-Bauteilen, z. B. für Flächenlichtmodulatoren (SLM). Außerdem finden Sie uns im Exhibitor Marketplace und können dort die Gelegenheit nutzen, sich mit unseren Experten aus den Bereichen Flächenlichtmodulatoren (SLM) und Aktive Mikrooptische Komponenten und Systeme (AMS) auszutauschen.
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