Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
ProQuantum – Prozess-Entwicklung für die sächsische Spin-Qubit Pilotlinie
Projektlaufzeit: 03/2026 - 12/2027
Das Verbundprojekt ProQuantum unter der Koordination des Fraunhofer IPMS widmet sich der Erforschung und Bereitstellung von industriekompatiblen Fertigungsprozessen für hochskalierbare Quantenprozessoren.
Quanten-Schlüsseltechnologien verändern die Medizinforschung, Materialentwicklung und Systemoptimierung fundamental. Um eine krisenfeste europäische Wertschöpfungskette für die Quanten-Hardware von morgen zu sichern, schafft ProQuantum das Fundament für eine sächsische Pilotfertigung von Spin-Qubit-basierten Quantencomputern sowie ein regionales QC-Kompetenzzentrum.
Projektziel: Vom Labormaßstab zur industriellen Fertigung
Das Fraunhofer IPMS fungiert als entscheidendes Bindeglied zwischen der sächsischen Substratherstellung, der Chip-Fertigung und der Systemintegration.
Bisherige Quanten-Architekturen stoßen bei der Skalierung oft an technologische Grenzen. ProQuantum setzt daher auf Silizium-Spin-Qubits. Diese basieren auf der Kontrolle von Elektronenspins in nanoskaligen Quantenpunkten und bieten einen unschätzbaren Vorteil: Sie sind voll kompatibel mit etablierten CMOS-Fertigungsverfahren der Halbleiterindustrie. Dies ermöglicht eine kostengünstige Massenproduktion und extrem hohe Integrationsdichten auf dem Chip.
Überblick:
- Prozessoptimierung (200mm): Erforschung optimierter Gate-Stapel auf einer bestehenden 200mm Forschungslinie zur Minimierung von Ladungsrauschen.
- Skalierung (300mm): Transfer der Technologien auf industrielle 300mm Wafer, um zukünftige High-Density-Systemintegrationen zu ermöglichen.
- Schnelle Charakterisierung: Entwicklung innovativer Messverfahren zur schnellen Qualitäts- und Defektbewertung der Qubit-Strukturen.