SPINS - Semiconducting Pilot Line for Industrial quantum NanoSystems

Das Fraunhofer IPMS übernimmt innerhalb von SPINS eine Schlüsselrolle für die hochauflösende Strukturierung der Qubit- und Prozessorelemente. Alle lithografischen Schritte, die eine Auflösung jenseits der Möglichkeiten optischer Verfahren erfordern, werden am Fraunhofer IPMS durchgeführt. Damit ermöglicht das Institut eine präzise, reproduzierbare Strukturierung, die für die Funktionalität und Skalierbarkeit von Si/SiGe-basierten Quantenschaltkreisen essenziell sind.

Darüber hinaus trägt das Fraunhofer IPMS entscheidend zur Prozessstabilität und -reife der gesamten Pilotlinie bei:

• Industriekompatible Umgebung: Das Fraunhofer IPMS stellt eine hochklassige Reinrauminfrastruktur bereit, die auf reproduzierbare, skalierbare Qubit-Fertigungsabläufe ausgelegt ist.
• Flexible Prozessintegration: Die am Fraunhofer IPMS angewandten Prozesse sind so gestaltet, dass sie sowohl Si/SiGe- als auch Ge/SiGe-Plattformen unterstützen und damit mehrere technologisch komplementäre Pfade des SPINS-Konsortiums absichern.
• Vorbereitung für Skalierung auf 300 mm: Die Expertise des Fraunhofer IPMS bildet eine Brücke zu Aktivitäten im Rahmen des EU-Projekts QLSI2, in denen die Migration auf hochauflösende Lithografie und 300-mm-Wafer erprobt wird. Dadurch wird die spätere Überführung der Ergebnisse der SPINS-Pilotlinie auf eine zukünftige 300-mm-CMOS-Linie frühzeitig vorbereitet.

Das Fraunhofer IPMS verbindet führende Forschungskompetenz mit industrieller Prozessreife und stärkt damit maßgeblich die technologische Unabhängigkeit Europas im Bereich der Halbleiter-Quantentechnologie. Das Institut fungiert als essenzielles Bindeglied zwischen Grundlagenforschung, Pilotfertigung und potenzieller zukünftiger Hochvolumenproduktion und trägt so entscheidend zur Etablierung eines resilienten, leistungsfähigen europäischen Quantum-Ökosystems bei.

• Interuniversitair Micro-Electronica Centrum, Koordinator
• Amires The Business Innovation Management Institucz
• Arque Systems GmbH
• Commissariat à l’Énergie Atomique et aux Énergies
• C12 Quantum Electronics
• Agencia Estatal Consejo Superior de Investigacio
• Fraunhofer-Gesellschaft
• Forschungszentrum Jülich GmbH
• Groove Quantum B.V.
• IHP GmbH – Leibniz Institute for High Performance
• Infineon Technologies Dresden GmbH & Co KG
• International Iberian Nanotechnology Laboratory
• Jyväskylän Yliopisto
• Asociacion Centro de Investigacion Cooperativa
• Cuantomocion S.L.
• Quobly
• Rheinisch-Westfaelische Technische Hochschule
• Semiqon Technologies Oy
• Siltronic AG
• Nederlandse Organisatie voor Toegepast Natuur
• Technische Universiteit Delft
• National Quantum Science and Technology Institute
• PQI – Associacao Portuguese Quantum Institute
• Universitaet Regensburg
• Teknologian Tutkimuskeskus VTT Oy