Fotodioden

Fotodiode

Spektrale Empfindlichkeit einer Fotodiode
© Fraunhofer IPMS
Spektrale Empfindlichkeit einer Fotodiode.

Die am Fraunhofer IPMS entwickelten Fotodioden, bei denen sich Dioden-und Substratanschluss auf der Wafervorderseite befinden, zeichnen sich durch geringe Dunkelströme (typ. 5 nA/mm² bei 125 °C und 2,5 V) aus. Die Kombination dieser Fotodiodentechnologie mit typischen MEMS-Strukturen wie Gruben oder Schlitzen in Silizium ermöglicht die Entwicklung von spezifischen optischen Messsystemen. Die Grafik zeigt die spektrale Empfindlichkeit einer Fotodiode, die von Fraunhofer IPMS auf Kundenanforderung entwickelt wurde.