Aktoren

Mechanische Aktoren:

 

Mechanische Aktoren

Mikromechanische Ultraschallwandler (CMUT)

 

Ultraschallsensoren

Laterale Mikromechanische Ultraschallwandler (L-CMUT)

Optische Aktoren:

 

Optische Aktoren

MEMS-Scanner

 

Optische Aktoren

Flächenlichtmodulatoren

 

Optische Aktoren

Steuerbare Linsen

 

Optische Aktoren

LC Waveguide