Messe

Elektrostatisch angetriebene Mikro-Biegeaktoren
Große vertikale oder laterale Auslenkungen bei geringem Energieverbrauch und niedriger elektrischer Antriebsspannung. Die Technologie ist geeignet, bestehende Mikrosystemlösungen zu erweitern und neue Anwendungsgebiete mit neuartigen Designs zu erschließen. Anwendungsgebiete reichen von Positionierantrieben für miniaturisierte optische Zoomlinsensysteme über Mikropumpen, Mikroventile bis hin zu kleinsten Lautsprechern für Hörgeräte und Hearables.

MEMS Scannerspiegel

Resonant oder quasi-statisch betrieben zur gezielten Lichtablenkung mit sehr kompakten Systemen. Die Anwendungsbreite erstreckt sich von Strichcode-Lesesystemen über die 3D-Messtechnik bis hin zur Laserprojektion, Spektroskopie und Fokuslagenmodulation. Mit dem Resolin-Evaluation-Kit »QSDrive Scan Kit« bietet das Fraunhofer IPMS die Möglichkeit, kostenschonend und flexibel statisch auslenkbare MEMS-Scannerspiegel für Anwendungen zu erproben, die mit den verbreiteten resonant schwingenden Mikroscannern bislang nicht zufriedenstellend bedient werden konnten.

Flüssigkristall-Schalter / einstellbarer Leistungsteiler
Optische Schalter, die auf dem Prinzip von elektro-optisch induzierten Wellenleitern in thermotropen Flüssigkristallen in der isotropischen Phase basieren. Der zugrunde liegende Kerr-Effekt in diesen Flüssigkristallen macht ein schnelles Schalten möglich. Die Komponenten können z.B in der optischen Telekommunikation oder für faseroptische Sensortechnologien genutzt werden.

Flächenlichtmodulatoren (MEMS-Spiegelarrays)
MEMS-Spiegelarrays auf einem Halbleiterchip mit bis zu mehreren Millionen Einzelspiegeln. Diese können je nach Anwendung individuell gekippt oder abgesenkt werden, so dass ein flächiges Muster entsteht, mit dessen Hilfe z. B. definierte Strukturen projiziert werden. Hochauflösende Kippspiegelarrays mit bis zu 2,2 Millionen Einzelspiegeln werden von unseren Kunden als hochdynamische programmierbare Masken für die optische Mikrolithographie im Ultraviolett-Bereich eingesetzt. Spiegelabmessungen liegen hier bei 10 μm oder größer. Durch das Auslenken der Mikrospiegel werden die Strukturinformationen mit hoher Bildrate in den Fotolack übertragen. Weitere Anwendungsfelder liegen in der Halbleiterinspektion und -messtechnik, in der Mikroskopie, der Spektroskopie sowie in der Laserbeschriftung, -markierung und -materialbearbeitung

Samstag, 01.02.2020

Session 2: LIDAR, 11:20-11:50 Uhr

Dr. Jan Grahmann – „Vibration analysis of micro mirrors for Lidar, using on-chip piezoresistive sensors”

Session 1:  Micro –Mirrors, 8:10 - 10:00 Uhr

Dr. Andreas Gehner – “Novel CMOS-integrated 512x320 tip-tilt micro mirror array”

Session 3: Novel Optical Devices I, 14:30 – 14:50 Uhr

Anton Melnikov – „Minimization of nonlinearities in nano electrostatic drive actuators using validated coupled-field simulation”

Mittwoch: 05.02.2020

Session 9: Programmable Integrated Photonics, 12:10-12:30 Uhr

Dr. Florenta Costaches – “Liquid crystal waveguide switch/variable power splitter for visible or near – infrared wavelengths”