Vibrationssensorik

Vibrations- und Körperschallsensoren kommen heute in nahezu allen Branchen zum Einsatz – von der Produktionstechnik über Medizintechnik bis zur Consumer-Elektronik. Sie ermöglichen Aussagen über die Zustände und Eigenschaften von Maschinen, Anlagen und Infrastruktur sowie das Wohlbefinden von Nutzern in Wearables und Medizingeräten. Dies erlaubt eine frühzeitige Erkennung von Verschleiß, Fehlfunktionen oder Strukturschäden und die Einleitung von Gegenmaßnahmen. Marktgängige Sensoren sind jedoch häufig limitiert in ihrer Frequenzbandbreite, der Güte, der nachhaltigen Herstellung sowie der sensornahen Interpretation der Signaldaten.

Das Fraunhofer IPMS entwickelt eine neuartige MEMS-basierte Vibrationssensorik auf Basis der eigenen und patentierten NED-Technologieplattform (Nano-Electrostatic-Drive). Dieser Ansatz verbindet in einzigartiger Weise einen elektrostatischen Nano-Antrieb mit einer ausgereiften Wafer-Level-Vakuumverkapselung, um erstmals miniaturisierte Körperschallsensoren mit extrem hoher Linearität, breiter Bandbreite und hervorragender Langzeitstabilität zu realisieren. Das hohe Maß an Miniaturisierung und Linearität wird nur durch die Nutzung des gesamten Siliziumchipvolumens und einer balancierten Designgeometrie möglich.