Screening Fab Services

200 mm & 300 mm Fab Services

Kunden und Partner der Screening Fab

Die Fraunhofer Screening Fab bietet halbleiterqualifizierte Screening- und Evaluierungsdienstleistungen für Materialien, Prozesse, Chemikalien und Verbrauchsmaterialien – vom Labormaßstab bis zur Produktionsumgebung (für ULSI) – für IC-Hersteller und Zulieferer.

Wir stellen erfahrene Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler, professionelles Wafer-Handling (ISO 9001) sowie modernste Anlagen für 200/300-mm-Wafer bereit. Durch kurze Prozesszeiten unterstützen wir unsere Kunden dabei, Kosten zu senken und die Time-to-Market zu verkürzen.

Fraunhofer IPMS Screening Fab für:

  • Benchmarking von Verbrauchsmaterialien
  • Prozessentwicklung
  • Ultra Large Scale Integration (ULSI)
  • Pilotproduktion
  • Anlagenbewertung
 

PROZESSE

Führende Prozesstechnologien und Prozessentwicklung für Nanopatterning, ALD, CMP, Wafer-Plating und Waferreinigung.

 

ANLAGENBEWERTUNG

Qualifizierung neuer Anlagen, Bauteile und Verbrauchsmaterialien für die Serienproduktion unter industrienahen Standardbedingungen.

 

WAFER SERVICES

Broker-Dienstleistungen für unstrukturierte und strukturierte Wafer zur Weiterverarbeitung, einschließlich fortschrittlicher Metrologie.

 

SUSTAINABILITY

Green and Sustainable Microelectronics - we have expertise in green devices as well as green technologies.

Fraunhofer Screening Fab in a nutshell

The Screening Fab is a service platform from Fraunhofer IPMS in Dresden, Germany.

Wafer transport in 300 mm CMP-tool for brush evaluation.

  • Established test platform for suppliers, material developers and equipment manufacturers under industry conditions
  • Production like environment with standard industry equipment (200/300 mm)
  • Independent evaluation, experiment control with ISO 9001 certification
  • Direct exchange of wafers with production lines (short loops), professional contamination management and direct link to industrial facilities (connection to industrial media supply)
  • Pre- and post-processing for optimization of individual process steps
  • Fast scale up from Lab to Fab with more than 10 years experience in bringing new materials into manufacturing
  • Economization of resources (equipment, workforce, time)

Our cleanrooms

 

Fraunhofer IPMS

200 mm MEMS Cleanroom

 

Fraunhofer IPMS

300 mm CMOS Cleanroom

 

Fraunhofer IPMS

Analytics, Metrology and Characterization