Screening Fab Services

200 mm & 300 mm Fab Services

Kunden und Partner der Screening Fab

Die Fraunhofer Screening Fab bietet halbleiterqualifizierte Screening- und Evaluierungsdienstleistungen für Materialien, Prozesse, Chemikalien und Verbrauchsmaterialien – vom Labormaßstab bis zur Produktionsumgebung (für ULSI) – für IC-Hersteller und Zulieferer.

Wir stellen erfahrene Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler, professionelles Wafer-Handling (ISO 9001) sowie modernste Anlagen für 200/300-mm-Wafer bereit. Durch kurze Prozesszeiten unterstützen wir unsere Kunden dabei, Kosten zu senken und die Time-to-Market zu verkürzen.

Fraunhofer IPMS Screening Fab für:

  • Benchmarking von Verbrauchsmaterialien
  • Prozessentwicklung
  • Ultra Large Scale Integration (ULSI)
  • Pilotproduktion
  • Anlagenbewertung
 

PROZESSE

Führende Prozesstechnologien und Prozessentwicklung für Nanopatterning, ALD, CMP, Wafer-Plating und Waferreinigung.

 

ANLAGENBEWERTUNG

Qualifizierung neuer Anlagen, Bauteile und Verbrauchsmaterialien für die Serienproduktion unter industrienahen Standardbedingungen.

 

WAFER SERVICES

Broker-Dienstleistungen für unstrukturierte und strukturierte Wafer zur Weiterverarbeitung, einschließlich fortschrittlicher Metrologie.

 

SUSTAINABILITY

Green and Sustainable Microelectronics - we have expertise in green devices as well as green technologies.

Fraunhofer IPMS Screening Fab in Kürze

Die Screening Fab ist eine Serviceplattform des Fraunhofer IPMS in Dresden, Deutschland.

Wafertransport in einer 300-mm-CMP-Anlage zur Bewertung von Bürsten.

 

  • Etablierte Testplattform für Zulieferer, Materialentwickler und Anlagenhersteller unter industriellen Bedingungen
  • Produktionsnahe Umgebung mit standardisierter Industrieausrüstung (200 mm / 300 mm)
  • Unabhängige Bewertung und experimentelle Prozesskontrolle mit ISO 9001-Zertifizierung
  • Direkter Waferaustausch mit Produktionslinien (Short Loops), professionelles Kontaminationsmanagement sowie direkte Anbindung an industrielle Infrastrukturen (inkl. Medienversorgung)
  • Vor- und Nachprozessierung zur Optimierung einzelner Prozessschritte
  • Schnelle Skalierung von „Lab to Fab“ mit über 10 Jahren Erfahrung in der Überführung neuer Materialien in die Fertigung
  • Ressourceneffizienz durch optimierten Einsatz von Anlagen, Personal und Zeit
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    Unsere Reinräume:

     

    Fraunhofer IPMS

    200 mm MEMS-Reinraum

     

    Fraunhofer IPMS

    200 mm Mikrodisplay-Reinraum

     

    Fraunhofer IPMS

    300 mm CMOS-Reinraum

     

    Fraunhofer IPMS

    Analytik, Metrologie und Charakterisierung