Reduktion von Treibhausgasemissionen durch technische Gase in der Halbleiterfertigung
Das Fraunhofer IPMS setzt sich gezielt für die Reduzierung der Umweltbelastung durch technische Gase und Kältemittel im Reinraum ein. Durch die detaillierte Analyse bestehender Verbrauchsmuster wird Transparenz geschaffen und Optimierungspotenzial identifiziert. Dank ISO-Zertifizierungen und eines modernen Gebäudemanagementsystems kann der Treibhausgasausstoß am Fraunhofer IPMS bereits heute jährlich präzise erfasst werden.
Zur exakten Verbrauchserfassung und kontinuierlichen Emissionsüberwachung werden innovative Messtechnologien entwickelt. Eine Echtzeitmessung unverarbeiteter Treibhausgase ermöglicht die realistische Bewertung ihrer Klimawirkung. Die erhobenen Daten fließen direkt in die Fraunhofer-weite Treibhausgasbilanz (GHG-Bilanz) ein.
Reduzierung der Treibhausgasemissionen aus technischen Gasen in der Halbleiterfertigung
Erste Projektergebnisse zeigen, dass fluorierte Spezialgase trotz geringer Einsatzmengen aufgrund ihres hohen Global Warming Potentials (GWP) überproportional zur Emissionsbilanz beitragen. Ein zentrales Ziel des Projekts ist es daher, den tatsächlichen Ausstoß in die Atmosphäre zu bestimmen, im Vergleich zu den Mengen, die im Prozess verbraucht oder durch Abgasreinigungssysteme wie Scrubber und Brenner neutralisiert werden.
Durch die Entwicklung eines belastbaren Datenerfassungskonzepts und dessen Integration in die Fraunhofer-Gesamtbilanz leistet das Projekt einen wichtigen Beitrag zu nachhaltiger Mikroelektronik und umweltschonendem Reinraumbetrieb.