Unsere Reinräume am Fraunhofer IPMS
200mm
- MEMS Technologies Dresden: 1500 m² großer Reinraum (Klasse 4 nach ISO 14644-1)
- Technologieentwicklung bis hin zur Pilotfertigung innovativer Mikrosysteme auf 200 mm
- Mikro-elektro-mechanischen Systeme (MEMS) und mikro-opto-elektro-mechanische Systemen (MOEMS)
300mm
- 4000 m² großen Reinraum der Klasse 6 und 3 (nach ISO 14644-1)
- Entwicklungsdienstleistungen auf 300mm-Wafern im Bereich FEoL und BEoL
- Services auf Ultra Large Scale Integration-Level
- Analytik, Metrologie & Charakterisierung