Reinräume

200mm

• MEMS Technologies Dresden: 1500 m² großer Reinraum (Klasse 4 nach ISO 14644-1)
• Technologieentwicklung bis hin zur Pilotfertigung innovativer Mikrosysteme auf 200 mm 
• Mikro-elektro-mechanischen Systeme (MEMS) und mikro-opto-elektro-mechanische Systemen (MOEMS)

300mm

• 4000 m² großen Reinraum der Klasse 6 und 3 (nach ISO 14644-1)
• Entwicklungsdienstleistungen auf 300mm-Wafern im Bereich FEoL und BEoL 
• Services auf Ultra Large Scale Integration-Level 
• Analytik, Metrologie & Charakterisierung