Reinräume

Unsere Reinräume am Fraunhofer IPMS

200 mm MEMS/MOEMS

  • 1500 m² großer Reinraum (Klasse 4 nach ISO 14644-1)
  • Technologieentwicklung bis hin zur Pilotfertigung innovativer Mikrosysteme auf 200 mm 
  • Mikro-elektro-mechanischen Systeme (MEMS) und mikro-opto-elektro-mechanische Systemen (MOEMS)

 

200 mm Mikrodisplay-Reinraum 

  • 300 m² Reinraum Klasse 5 (nach ISO 14644-1)
  • Pilotlinie für Mikrodisplays und Sensoren
  • Dünnschichtverkapselung, Strukturierung und Schichtcharakterisierung

 

300 mm CMOS

  • 2700 m² großen Reinraum der Klasse 6 und 3 (nach ISO 14644-1)
  • Entwicklungsdienstleistungen auf 300mm-Wafern im Bereich FEoL und BEoL für die Mikroelektronik
  • Services auf Ultra Large Scale Integration-Level 
  • Analytik, Metrologie & Charakterisierung

Weitere Informationen:

 

Fraunhofer IPMS

200 mm MEMS-Reinraum

 

Fraunhofer IPMS

200 mm Mikrodisplay-Reinraum

 

Fraunhofer IPMS

300 mm CMOS-Reinraum

 

Fraunhofer IPMS

Analytik, Metrologie und Charakterisierung

 

Fraunhofer IPMS

300 mm Screening Fab

  • Prozessentwicklung
  • Equipment Evalutation
  • Wafer Services