Akustische Aktoren

Optische Aktoren steuern Licht in miniaturisierten Systemen. Am Fraunhofer IPMS entstehen dafür MEMS-Scanner, Scan-Engines, Flächenlichtmodulatoren und weitere integrierte optische Komponenten für präzise Ablenkung, Modulation, Fokussierung und Schaltfunktionen.

MEMS-Scannerspiegel werden resonant oder quasistatisch betrieben. Sie ermöglichen kompakte Lösungen für Lichtablenkung, Laserprojektion, 3D-Messtechnik und Spektroskopie. Flächenlichtmodulatoren basieren auf Mikrospiegelarrays mit anwendungsspezifischer ASIC-Architektur. Einzelne Spiegel lassen sich analog auslenken und unterstützen Anwendungen in Mikrolithographie, Halbleiterinspektion, adaptiver Strahlformung und Holografie. Ergänzende Technologien erweitern den Bereich um OLED-on-Silicon-Mikrodisplays, variable Mikrolinsen und Flüssigkristall-Wellenleiter. Diese Komponenten adressieren unter anderem Datenbrillen, miniaturisierte Autofokus- oder Zoomsysteme und optische Schalter für faseroptische Sensornetzwerke.

Damit adressiert Fraunhofer IPMS Anwendungen in optischen Messsystemen, medizinischer Bildgebung, Displaytechnologien, optischer Kommunikation und AR-Systemen. Die Kompetenz reicht von MEMS-Design und Elektronikansteuerung bis zu Packaging, Pilotfertigung und Systemintegration. Partner aus Industrie und Forschung erhalten Unterstützung bei kundenspezifischen optischen Aktor- und Mikrosystemlösungen, die Licht präzise führen, dynamisch formen oder in komplexe Systeme integrieren müssen für konkrete technische Anwendungen.