Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
Projekt »GENESIS« minimiert ökologischen Fußabdruck der europäischen Halbleiterindustrie
Für das Projekt GENESIS, das sich der Entwicklung nachhaltiger Prozesse und Technologien für die Lieferkette der Halbleiterherstellung widmet, hat sich ein europaweites Konsortium zusammengeschlossen. Die interdisziplinäre Groß-Initiative fördert die Bestrebungen der europäischen Chipindustrie, ihre Nachhaltigkeitsziele zu erreichen – von der Materialentwicklung bis zur endgültigen Abfallbehandlung. Das Fraunhofer IPMS übernimmt die Federführung für eines der zentralen Arbeitspakete, um chemische Abfälle zu minimieren und Emissionen zu reduzieren.
Fraunhofer IPMS im Projekt: Minimierung von chemischen Abfällen und zur Emissionsreduktion
Das Fraunhofer IPMS leitet eines der zentralen Arbeitspakete im Projekt zur Minimierung von chemischen Abfällen und zur Emissionsreduktion. Darüber hinaus untersucht das Institut die Substitution von schädlichen Materialien und Stoffen, die in der Halbleiterproduktion eingesetzt werden. Der Fokus liegt dabei auf PFAS-Chemikalien (per- und polyfluorierte Alkylsubstanzen) und klimaschädlichen Gasen innerhalb des BOSCH-Prozesses. Der entsprechende Arbeitsbereich untersucht und verbessert Recyclingtechniken und Abgasreinigungssysteme, bis hin zur Entwicklung von neueren und effizienteren Reinigungssystemen.
Der achtsame Umgang mit Ressourcen steht im Mittelpunkt unserer Forschung innerhalb des GENESIS-Projekts. Wir konzentrieren uns auf den Ersatz und die Reduktion des Ausstoßes von klimaschädlichen Gasen wie SF6 oder NF3. Diese Gase sind 10.000-fach schädlicher als CO2, werden aber in der Halbleiterindustrie benötigt. Außerdem kümmern wir uns um die Verringerung des Abfalls, der beim chemisch-mechanischen Polieren entsteht.