Akustische Sensoren

Akustische Sensoren machen Schall, Ultraschall und Körperschall für präzise Mess- und Detektionsaufgaben nutzbar. Am Fraunhofer IPMS stehen dafür MEMS-basierte Ansätze im Fokus: kapazitive mikromechanische Ultraschallwandler (CMUT) sowie Vibrationssensorik auf Basis der NED-Technologieplattform.

CMUTs verbinden hohe Sensitivität, breite Frequenzbänder und kompakte Bauweise. Sie eignen sich für Messungen in dunklen, trüben oder lichtundurchlässigen Umgebungen und lassen sich mit CMOS-Elektronik integrieren. Die Fertigung im 200-mm-MEMS-Reinraum unterstützt kundenspezifische Sensoren, Module und Systeme bis zur Pilotfertigung. MEMS-Vibrationssensoren erfassen Körperschall und Schwingungen mit breiter Bandbreite, hoher Linearität und Langzeitstabilität.

Relevante Anwendungen liegen in Ultraschallbildgebung, Photoakustik, medizinischer Diagnostik und Condition Monitoring. Auch prädiktive Wartung, Infrastrukturüberwachung, Wearables und Automotive-Anwendungen werden adressiert. Die Technologien helfen, Zustände berührungslos oder vibrationsbasiert zu erfassen und daraus belastbare Messdaten abzuleiten. Fraunhofer IPMS begleitet Partner von Machbarkeitsstudien über Prototypen bis zur Systemintegration für akustische Sensor- und Messlösungen. So entstehen anwendungsnahe Lösungen für industrielle und medizinische Fragestellungen mit unterschiedlichen Integrationsanforderungen und spezifischen Einsatzumgebungen im praktischen Betrieb.