Nach erfolgreicher Evaluierung der Fraunhofer-Projektgruppe MESYS äußerte sich nun auch der Bund-Länder-Ausschuss positiv und ebnete dem Fraunhofer IPMS somit den Weg, seine Forschungsaktivitäten an neuartigen elektrostatischen Mikroaktoren in Brandenburg weiter fortzusetzen.
Das Dresdner Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS hat allen Grund zur Freude: Bereits im September dieses Jahres wurde die seit fünf Jahren bestehende und vom Land Brandenburg finanzierte Fraunhofer-Projektgruppe Mesoskopische Aktoren und Systeme (MESYS) positiv evaluiert. Nachdem im November nun auch der Bund-Länder-Ausschuss zugestimmt hat, wird diese Projektgruppe zum 1. Januar 2018 als Institutsteil des Dresdner Fraunhofer IPMS an der Brandenburgischen Technischen Universität (BTU) am Standort Cottbus fortgeführt und in die Bund-Länder-Förderung aufgenommen. Damit ist der Weg geebnet, die Forschungsaktivitäten in Brandenburg in diesem Bereich fortzuführen und weiter auszubauen.
»Wir begrüßen diese Entwicklung und werden uns dafür einsetzen, dass dieser Institutsteil die erfolgreiche Zusammenarbeit mit der BTU ausbaut und somit zur nachhaltigen Stärkung der Lausitzregion beiträgt. Diese Entwicklung könnte für weitere Forschungsaktivitäten in der Lausitzregion beispielgebend sein und für wirtschaftliche Entwicklungen neue Impulse setzen«, sagt Dr. Martina Münch, Wissenschaftsministerin des Landes Brandenburg.
Prof. Harald Schenk, Institutsleiter des Fraunhofer IPMS und Professor für Mikro- und Nanosysteme an der Brandenburgischen Technischen Universität Cottbus-Senftenberg (BTU), zeigt sich hoch erfreut: »Die enge Kooperation zwischen Fraunhofer und der BTU stellt einen wichtigen Innovationsfaktor dar. Daher freuen wir uns an dieser Stelle sehr, als Ergebnis der positiven Evaluierung, die vielversprechenden Forschungsaktivitäten des Fraunhofer IPMS in Kooperation mit der BTU in Brandenburg weiter fortsetzen zu können.«
Die Fraunhofer-Projektgruppe MESYS ist 2012 in enger Zusammenarbeit zwischen dem Fraunhofer IPMS und der BTU ins Leben gerufen worden. Unter der Leitung von Prof. Schenk forschen neun Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler an den beiden Standorten in Dresden und Cottbus an neuartigen elektrostatischen Mikroaktoren – sogenannten nanoskopischen elektrostatischen Antrieben (engl. nanoscopic electrostatic drives, NED). Die von MESYS entwickelte und bereits patentierte neue Aktorklasse ist CMOS-kompatibel und löst fundamentale Probleme elektrostatischer Aktoren. Zukünftig können so die Leistungsfähigkeit von Mikrosystemen verbessert und völlig neuartige Designlösungen für selbige geschaffen werden. Mögliche Applikationsfelder sind Mikropumpen, MEMS-Lautsprecher oder Mikropositioniersysteme.
Nach der erfolgreichen Evaluierung konnten auch schon erste Erfolge bei der Integration der neuen NED-Aktortechnologie verzeichnet werden: Es ist erstmals gelungen, funktionsfähige, in Silizium integrierte Mikrolautsprecher herzustellen. Prof. Schenk schaut zuversichtlich in die Zukunft: »Wir hoffen, dass wir die bisher erzielten wissenschaftlichen Erfolge rasch in die Verwertung und industrielle Nutzung überführen können. Damit wollen wir auch unseren Beitrag zur Stärkung der lokalen Wirtschaft leisten.«
Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS mit seinen 300 Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern steht für angewandte Forschung und Entwicklung in den Bereichen Photonische Mikrosysteme, Mikrosystemtechnologien, Nanoelektronische Technologien und Drahtlose Mikrosysteme. Die Hälfte unseres jährlichen Forschungsbudgets von 30 Millionen Euro wird durch Aufträge aus der privaten Wirtschaft finanziert. Wir bieten Komplettlösungen vom Konzept über das Bauelement bis zum kompletten System. Dies schließt Muster- und Pilotfertigung im eigenen 1500 m² (15 000 ft²) Reinraum (Klasse 4 nach ISO 14644-1) mit qualifizierten Prozessen ein. Um den Erwartungen unserer Kunden zu genügen, ist unser Haus für Forschung, Entwicklung und Fertigung, den entsprechenden Halbleiter- und Mikrosystemprozessen, integrierte Aktorik / Sensorik und Beratung von der DEKRA nach der Norm DIN EN 9001:2008 zertifiziert.
Die Brandenburgische Technische Universität Cottbus-Senftenberg (BTU) ist die einzige Technische Universität des Landes Brandenburg. In der Forschung richtet sich unser Fokus auf Energie-Effizienz, cyber-physikalische Systeme, Biotechnologie, Umwelt, Gesundheit, Smart Regions und Heritage. Wir bieten universitäre, fachhochschulische, duale und internationale Studiengänge an. Die derzeit 8.000 Studierenden schätzen die internationale und familiäre Campus-Atmosphäre. Mehr als 24 Prozent von ihnen kommen aus dem Ausland. Der Zentralcampus in Cottbus ist jeweils 120 Kilometer von Berlin und Dresden entfernt.
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme