Das Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme (Fraunhofer IPMS) arbeitet ab sofort mit dem südkoreanischen Gerätehersteller NextIn zusammen. In einer einjährigen Kooperation wird im Reinraum des Center Nanoelectronic Technologies (CNT) ein neues Defekt-Inspektions-Gerät evaluiert, das die optische Detektion, die automatische Klassifizierung und die Charakterisierung von verschiedenen Defekttypen auf strukturierten Wafern (200 mm und 300 mm Größe) erlaubt.

Das Aegis I Wafer Inspection System von NextIn erlaubt die kombinierte Anwendung von Hellfeld- und Dunkelfeld-Bildgebung in einem Tool, was eine erhebliche Reduzierung von Investitionen in das Analytik-Equipment für Halbleiterproduzenten ermöglicht. Nach Abschluss der Evaluation bietet die Firma NextIn damit eine konkurrenzfähige Alternative für die Metrologie in 2x nm Technologieknoten für den europäischen Markt.

»Für uns als Forschungseinrichtung ergeben sich neben der Ausweitung unserer Geschäftsbeziehungen nach Asien auch Synergieeffekte, da solch ein Gerät für die Erforschung und Entwicklung von nanoelektronischen Prozessen von entscheidender Bedeutung ist«, so Geschäftsfeldleiterin Dr. Romy Liske.

Das Center Nanoelectronic Technologies führt damit die erfolgreiche Zusammenarbeit zwischen Halbleiterindustrie und angewandter Forschung im Bereich der 300 mm Wafer-Technologie fort, die Herstellern die industrielle Umsetzung von neuen Entwicklungen ermöglicht.

Über Fraunhofer IPMS - Center Nanoelectronic Technologies (CNT)

Die Fraunhofer Gesellschaft ist mit 23.000 Mitarbeitern die größte Forschungsorganisation für anwendungsorientierte Forschung in Europa. Das Fraunhofer IPMS ist eines von 67 Instituten in Deutschland und steht beispielhaft für die enge Zusammenarbeit zwischen angewandter Forschung und den Halbleiterproduktionsstätten innerhalb des Wirtschaftsstandorts »Silicon Saxony«. Die Kompetenzen des Geschäftsfelds CNT liegen in der Entwicklung von nanoelektronischen Prozessen und Produkten. Die Ausstattung umfasst über 40 Prozess- und Analysetools für 200 und 300 mm Wafer sowie ein eigener 800 m² Reinraum. Entwicklungen können aufgrund des Industriestandards direkt in Produktionslinien integriert werden.

Über NextIn

NEXTIN Inc. ist ein südkoreanischer Hersteller von Defektinspektionsanlagen für die Halbleiter- und FPD-Industrie. Seine hochpräzisen Anlagen helfen Kunden die Ergebnisse in allen Prozessschritten an den modernsten Designknoten zu optimieren.