Fraunhofer IPMS erweitert Reinraum auf 200-mm-Prozesslinie

Dresden / 2.10.2015

Blick in den Mikrosystemreinraum des Fraunhofer IPMS.
MEMS-basierter Laserprojektor für mobile Anwendungen.

Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS erweitert seinen Mikrosystemreinraum für die Forschung und Entwicklung sowie Pilotfertigung von mikroelektromechanischen Systemen, kurz MEMS, von 150-mm-Wafersubstraten auf eine 200-mm-Prozesslinie. Dafür stehen dem Dresdner Forschungsinstitut insgesamt 30 Millionen Euro Landes- und Bundesmittel sowie Mittel aus dem „Europäischen Fonds für Regionale Entwicklung“ (EFRE) zur Verfügung. Der förderunschädliche Projektbeginn wurde zum 30.9.2015 durch die Sächsische Aufbaubank SAB genehmigt.

Die beiden Institutsleiter des Fraunhofer IPMS, Prof. Hubert Lakner und Prof. Harald Schenk, zeigen sich hoch erfreut über die Investitionsmaßnahme: „Mit der Unterstützung des Landes, des Bundes und der EU ist es uns nun auch weiterhin möglich, eine moderne, innovative Forschung und Entwicklung – und daraus resultierend eine effiziente Zusammenarbeit auf Spitzenniveau mit Partnern aus Industrie und Wirtschaft – zu gewährleisten. Unser Institut ist im Bereich ´More than Moore` einer der Pioniere und Innovationsführer. Durch die Genehmigung des vorzeitigen Maßnahmenbeginns für die Investitionen der 200-mm-Erweiterung können wir nun alles in die Wege leiten, um unsere Spitzenposition im weltweiten Wettbewerb weiter auszubauen und neue Felder zu adressieren.“ 

Die wichtigsten Forschungs- und Entwicklungspartner des Fraunhofer IPMS sind bereits auf die 200-mm-Technologie umgestiegen. Durch die einheitliche Wafergröße kann zukünftig die notwendige Arbeitsteilung in der Prozessierung realisiert werden, was eine weitere Miniaturisierung und Funktionsintegration ermöglicht. Mit den bereit gestellten Mitteln schafft das Institut bis 2017 eine moderne Forschungsbasis um für nationale und internationale Partner weiterhin ein innovativer Forschungs- und Entwicklungsdienstleister zu bleiben.