Das Fraunhofer IPMS bietet seinen Kunden die Entwicklung von Produkten und Technologien auf dem Gebiet der Mikro-(Opto)-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS und MOEMS) an. Dabei deckt das Fraunhofer IPMS die gesamte Entwicklungskette für MEMS-Produkte und Technologien ab. Auf Kundenwunsch übernehmen wir die Pilot-Fertigung oder unterstützen den Technologietransfer. Dafür nutzen wir die vorhandene technologische Kompetenz für Bulk-MEMS, Oberflächen-MEMS und der monolithischen Integration von CMOS und MEMS. Für diese Arbeiten steht ein moderner MEMS-Reinraum mit einer 200 mm-Linie zur Verfügung.
Vorteile
- Umfangreiche Technologiekompetenz auf dem Gebiet der Oberflächenmikromechanik und Bulkmikromechanik
- One-Stop-Shop für individuelle Anforderungen entlang der gesamten Wertschöpfungskette
- Geringe Investitionskosten insbesondere für Start-Ups, KMUs und Unternehmen in Nischenmärkten ohne eigene Fab
- Pilotfertigung in einem hochmodernen Reinraum nach industriellen Standards
- Intensive Betreuung der Fertigungsabläufe durch erfahrene Ingenieure
Leistungen
- Beratung
- Prozessentwicklung
- Entwicklung von Demonstratoren und Prototypen
- Test und Charakterisierung
- Pilotfertigung
- Foundry Services