MEMS Technologies Dresden

Das Fraunhofer IPMS bietet seinen Kunden die Entwicklung von Produkten und Technologien auf dem Gebiet der Mikro-(Opto)-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS und MOEMS) an. Dabei deckt das Fraunhofer IPMS die gesamte Entwicklungskette für MEMS-Produkte und Technologien ab. Auf Kundenwunsch übernehmen wir die Pilot-Fertigung oder unterstützen den Technologietransfer. Dafür nutzen wir die vorhandene technologische Kompetenz für Bulk-MEMS, Oberflächen-MEMS und der monolithischen Integration von CMOS und MEMS. Für diese Arbeiten steht ein moderner MEMS-Reinraum  mit einer 200 mm-Linie zur Verfügung.

Vorteile

• Umfangreiche Technologie­kompetenz auf dem Gebiet der Ober­flächen­mikro­mechanik und Bulk­mikro­mechanik
• One-Stop-Shop für individuelle Anforderungen entlang der gesamten Wertschöpfungskette
• Geringe Investitionskosten insbesondere für Start-Ups, KMUs und Unternehmen in Nischenmärkten ohne eigene Fab
• Pilotfertigung in einem hochmodernen Reinraum nach industriellen Standards
• Intensive Betreuung der Fertigungsabläufe durch erfahrene Ingenieure

Leistungen

• Beratung
• Prozessentwicklung
• Entwicklung von Demonstratoren und Prototypen
• Test und Charakterisierung
• Pilotfertigung
• Foundry Services