Integrierte photonische Bauelemente

© Fraunhofer IPMS
Beispiel eines Arrayed Waveguide Grating (AWG) auf Basis von Siliziumnitrid-Wellenleitern.

Das Fraunhofer IPMS entwickelt Bauelemente und photonische integrierte Schaltungen auf Basis von Siliziumnitrid-Wellenleitern. Durch den Einsatz maßgeschneiderter Technologien bietet das Fraunhofer IPMS die Möglichkeit, Wellenleiter monolithisch mit CMOS-Bauelementen zu integrieren und verlustarm zu gestalten.

Einzigartige Chancen ergeben sich aus der Möglichkeit, Siliziumnitrid-Wellenleiter mit Flüssigkristall-Wellenleitern zu kombinieren, wobei eine spezifische Elektrodenkonfiguration zu neuen programmierbaren Bauelementen für unterschiedliche Anwendungen führen kann.

Das Fraunhofer IPMS verfügt über Expertise im Design, der Herstellung und Charakterisierung von Wellenleiterbauelementen und photonischen integrierten Schaltungen, die z. B. als Wellenlängenfilter, Schalter, Multiplexer etc. in optischen Kommunikationsnetzwerken, in der Spektroskopie und als Wandlerelemente in der optischen Sensorik und Biosensorik (siehe Mikro-Ringresonator-Biosensor) eingesetzt werden.

Die Wellenleiter werden auf 200 mm-Wafern im Reinraum des IPMS hergestellt. Ihre Charakterisierung wird in speziellen Laboraufbauten am Fraunhofer IPMS und Fraunhofer MEOS durchgeführt.

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Integrierte Photonische Bauelemente

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