MEMS-Lautsprecher

Miniaturisierte Lautsprecher für Hörgeräte, Hearables und Im-Ohr-Kopfhörer.

mehr Info

MEMS-Pumpe

Miniaturisierte Pumpen, Ventile und Mikrodosiersysteme für Flüssigkeiten und Gase zur Verwendung in Mikrofluidiksystemen.

MEMS Aktorik

Elektrostatisch vertikal auslenkbare Biegeaktoren (NED).

Digitale Mikroaktorik

Binär codierbare, elektrostatisch auslenkbare Biegeaktoren.

Monolithisch Integrierte Aktor- und Sensorsysteme

Kaum eine wachstumsstarke technische Branche kommt ohne mikrosystemtechnische Komponenten in Form von Sensoren oder Aktoren aus. Um die steigenden Anforderungen an die Leistungsfähigkeit mikromechanischer Komponenten zu erfüllen und die technische Basis für neue Anwendungen zu verbreitern, ist die weitere Miniaturisierung wesentlich. Die Miniaturisierung als Teil einer technischen Evolution bedeutet auch, dass neue aktorische Prinzipien für mikro- und nanomechanischen Systeme notwendig werden. Das Geschäftsfeld »Monolithisch Integrierte Aktor- und Sensorsysteme« (MAS) entwickelt hierfür eine neue Klasse elektrostatischer Biegeaktoren (NED) und erprobt diese an MEMS-basierten Mikrosystemen verschiedenster Anwendungsfelder.

Anwendungsfelder

 

Elektrostatische Biegeaktoren (NED)

Vertikal und lateral elektrostatisch auslenkbare Biegeaktoren.

 

Mikrofluidik

Mikropumpen, Ventile und Dosiersysteme für die Silizium-basierte Mikrofluidik.

 

Anwendungsfelder elektrostatischer Biegeaktoren

Einsatzgebiete der neuen Klasse elektrostatischer, CMOS- und RoHS-kompatibler Biegeaktoren.

Pressemitteilungen

Presseinformation

Drahtlose Kopfhörer mit MEMS Lautsprechern für das Internet of Voice

Presseinformation

Fraunhofer IPMS erhält Preis für neuartige, leistungsfähige Klasse elektrostatischer Mikroaktoren

Presseinformation

A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections