MEMS-Technologie ebnet Weg für alltagstaugliche Spektrometer

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Mikro-elektro-mechanische Systeme (MEMS) sind Wegbereiter für mobil einsetzbare handliche Sensorsysteme, die einfach durchzuführende Messungen vor Ort oder auch eine Integration in industrielle Messtechnik in Produktions- und Verarbeitungsanlagen erlauben. Mögliche Anwendungen finden sich unter anderem im Bereich spektroskopischer Messsysteme. Dabei werden Stoffe elektromagnetischen oder akustischen Wellen ausgesetzt und die spektrale Antwort der Probe detektiert. So lassen sich über die Messung des einzigartigen Spektrums (»Fingerabdruck«) gleichermaßen feste, flüssige oder gasförmige Stoffe berührungslos bestimmen und analysieren. Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS, eine international führende Einrichtung in der Entwicklung und Fertigung von MEMS, stellt auf der Messe Sensor und Test vom 10.-12.05.2016 in Nürnberg zwei Ansätze der optischen Spektroskopie sowie eine Lösung der Ultraschallspektroskopie vor, die wegweisend für die Entwicklung kompakter, MEMS basierter, mobiler Minispektrometer sein könnten.