Mithilfe mikroskopischer Anwendungen können Objekte oder Strukturen, deren Größe unterhalb des Auflösungsvermögens des menschlichen Auges liegt, vergrößert betrachtet oder verbildlicht werden. Allerdings ist die Objektbeleuchtung häufig problematisch. Das Fraunhofer IPMS bietet dafür inhouse-entwickelte Lösungen an, die auf Mikrospiegeln beruhen. Sowohl im Bereich der Mikroscanner als auch bei Flächenlichtmodulatoren ist das Institut international führender Forschungs- und Entwicklungsdienstleister mit langjähriger Erfahrung.
Im Bereich der Lichtblattfluoreszenz-Mikroskopie werden die Mikroscanner des Fraunhofer IPMS erfolgreich eingesetzt. So ermöglichen sie im Lichtblattmikroskop Lightsheet Z.1 der Firma ZEISS, dass biologische Proben dreidimensional und schonend über sehr lange Zeiträume hinweg untersucht werden können. Die dort verwendeten MEMS-Scanner sorgen dafür, die Abbildungsqualität zu perfektionieren und unerwünschte Artefakte wie Schattenwurf lichtundurchlässiger Bestandteile der Probe im Lichtblatt zu eliminieren. Das Fraunhofer IPMS besitzt gleichermaßen technologische Kompetenz für die Bauteil- und Systementwicklung von Scannerspiegeln als auch das Anwendungs-Know-how aus über zehn Jahren Entwicklungsarbeit. Derzeit bietet das Institut mehr als 50 verschiedene resonante MEMS-Scanner, die als ein- oder zweidimensional ablenkende Elemente eingesetzt und anwendungsspezifisch angepasst werden können. Mögliche Scan-Frequenzen reichen von ca. 0,1 kHz bis zu 50 kHz.
Bei klassischen Lichtmikroskopen hingegen kommen Flächenlichtmodulatoren zum Einsatz, um Licht unterschiedlichster Wellenlänge mit sehr kompakten Systemen ultraschnell und mikrometergenau abzulenken. Durch den Mikrospiegel-Array-Chip des Fraunhofer IPMS können parallel mehrere Regionen, die kleiner als eine einzelne Zelle sind, gezielt beleuchtet und so spezifische, lichtsensitive Moleküle als Ensemble angeregt werden. Unter Verwendung eines zweiten Chips gelingt es außerdem, nicht nur die Regionen sondern auch die Bestrahlungswinkel genau auszuwählen. Dadurch lassen sich auch verdeckte Objekte, die als Struktur erscheinen, noch präziser hervorheben und die zahlreichen, ungewünschten Umgebungseffekte deutlich reduzieren. Durch eine Steuerung der Auslenkung der Spiegel ist es möglich, Einfallswinkel und Intensität des Lichtes mit bis zu 1000 Wechseln pro Sekunde zu verteilen.