Über uns

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme

Links: 150 mm Reinraum (Maria-Reiche-Straße), Rechts: 300 mm Reinraum (Königsbrücker Straße).

Das Fraunhofer IPMS mit Sitz in Dresden ist Ihr Forschungs- und Servicepartner auf dem Gebiet optischer Sensoren und Aktoren, ASICs, Mikrosysteme (MEMS/MOEMS) sowie Nanoelektronik.

Unser Institut besitzt zwei Standorte mit jeweils eigenen Reinräumen für 150/200 mm und 300 mm Wafer und modernster Ausstattung für die Auftragserfüllung.

Als eines von gegenwärtig 67 eigenständigen Einrichtungen der Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., der europaweit führenden Organisation für industrienahe Forschung, arbeiten wir mit rund 280 Wissenschaftlern gemeinsam mit Industrieunternehmen, Dienstleistungsunternehmen und der öffentlichen Hand an Projekten zum direkten Nutzen für Unternehmen und zum Vorteil der Gesellschaft.

Das Fraunhofer IPMS ist Teil des Fraunhofer-Verbundes Mikroelektronik VµE und engagiert sich in zahlreichen regionalen und internationalen Netzwerken der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik.

Um den hohen Ansprüchen unserer Kunden zu genügen, ist das Fraunhofer IPMS für Forschung, Entwicklung und Fertigung photonischer Mikrosysteme, die entsprechenden Halbleiter- und Mikrosystemprozesse, integrierte Aktorik/Sensorik und Beratung von der DEKRA nach der Norm DIN EN 9001:2008 zertifiziert.

Institutsleitung

  • Prof. Dr. Hubert Lakner

    Prof. Dr. Hubert Lakner

    Geschäftsführender Institutsleiter

    Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS

    Maria-Reiche-Str. 2
    01109 Dresden

    • Telefon +49 3 51 / 88 23-111
    • Fax +49 3 51 / 88 23-266
  • Prof. Dr. Harald Schenk

    Prof. Dr. Harald Schenk

    Institutsleiter

    Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS

    Maria-Reiche-Str. 2
    01109 Dresden

    • Telefon +49 351 8823-154
    • Fax +49 351 8823-266

Hauptgebäude Maria-Reiche-Straße 2

Das Fraunhofer IPMS hat seinen Hauptsitz auf der Maria-Reiche-Straße 2 in Dresden-Klotzsche. Auf dem Gelände befindet sich ein 1500 m² großer MOEMS/MEMS-Reinraum (Klasse 4 nach ISO 14644-1), der für die Technologieentwicklung bis hin zur Pilotfertigung innovativer Mikrosysteme auf 150 mm genutzt werden kann. 

Das Leistungsangebot umfasst die Waferprozessierung, Charakterisierung & Test, Aufbau- und Verbindungstechnik sowie die Organisation von externen Dienst- und Zulieferleistungen. Auf der Maria-Reiche-Straße sind 230 der insgesamt 280 Mitarbeiter beschäftigt.

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Außenstelle CNT - Königsbrücker Straße 178

Das Geschäftsfeld CNT verfügt über eine eigene Infrastruktur für die Prozess- und Materialentwicklung auf 300 mm Wafer auf der Außenstelle Königsbrücker Straße 178 innerhalb des Infineon Technologies Areals.

Zur Bearbeitung der Kundenaufträge stehen auf 800 m² Reinraumfläche (Klasse 6 nach ISO 14644-1) und 650 m² Laborfläche über 40 Prozessierungs- und Analytiktools zur Verfügung. Der Anlagenpark umfasst unter anderem Abscheide- und Ätzanlagen sowie Inspektions- und Analysegeräte zum Bestimmen von Defekten und dem Messen von Schichteigenschaften.

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