Nachfolgend sind die Patente des Fraunhofer IPMS aufgelistet. Die Symbole bedeuten:

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A method and a device for reducing hysteresis or imprinting in a movable micro-element

EP 1 364 246 JP 2004-520618 A US 6,885,493 B2

A method to detect a defective element

DE 60 2004 003 125.9-08 EP 1 583 946 B1 (NL, SE) US 7,061,226 B2

Adressing of an SLM

US 7,072,090 B2

Anordnung von mikromechanischen Elementen

US 8,254,005 B2

Anordnung zum Aufbau eines miniaturisierten Fourier-Transform-Interferometers für optische Strahlung nach dem Michelson- bzw. einem daraus abgeleiteten Prinzip

AT 413 765 B EP 1 637 850 A

Apparatus and Method for Guiding Optical Waves

EP 2 513 715 A1 WO 2011/098130 A1

Apparatus and method for housing micromechanical systems

US 7,898,071 B2

Apparatus and Method for Projecting Images and/or Processing Materials

US 7,518,770 B2

Arrangement for building a miniaturized fourier transform interferometer for optical rediation according to the michelson principle a principle derived therefrom

US 7,301,643 B2

Auslenkbare Struktur, mikromechanische Struktur mit derselben und Verfahren zur Einstellung einer mikromechanischen Struktur

CN 101279707 B DE 10 2007 015 726 B4

Auslenkbares mikromechanisches Element

CN 101316789 B DE 11 2005 003 758 B4

Auslenkbares mikromechanisches System sowie dessen Verwendung

DE 11 2006 003 699 B4 US 7,841,242 B2 ZL 2006 8 0052190.5

Belichtungseinrichtung

DE 195 22 936 DE 59600543.1-08 EP 0 811 181 (CH|FR|GB|LI|NL|SE) JP 3007163 US 5,936,713

Belichtungsvorrichtung (ASIC-Stepper)

US 5,495,280

Beschleunigungssensor und Verfahren zum Erfassen einer Beschleunigung

US 7,059,189 B2

Datenspeicherschaltung mit integrierter Datenspeichereinheit für einen Sensor mit physikalisch-elektrischem Wandler

DE 10 2008 030 908 B4

Deflectable structure, micromechanical structure comprising same, and method for adjusting a micromechanical structure

US 7,872,319 B2

Device for Protecting a Chip and Method for Operating a Chip

EP 1 499 560 B1 (DE|NL|SE) US 2005/0095749 A1

Fluidic variable focus optical lens

WO 2012/010201 A1

Fourier transform spectrometer

EP 1 677 086 A1 US 7,733,493 B2

Halbleitersubstrat und Verfahren zur Herstellung

DE 50 2006 008 141.5-08 EP 1 915 777 B1 (FR|GB)

High energy, low energy density, radiation-resistant optics used with micro-electronical devices

CN 100380138 C EP 1 642 158 A1 KR 10-2007-0013987 US 6,891,655 B2 WO 2004/061488 A1

Ionenselektiver Feldeffekttransistor und Verfahren zum Herstellen eines ionensensitiven Feldeffekttransistors

DE 503 04 800.3-08 EP 1 601 957 B1 (CH)

Ionensensitiver Feldeffekttransistor und Verfahren zum Herstellen eines ionensensitiven Feldeffekttransistors

DE 502 02 661.8-08 EP 1 436 607 B1 (CH|FR|GB|SE)

Ionensensitiver Feldeffekttransistor und Verfahren zum Herstellen eines ionensensitiven Feldeffekttransistors

DE 502 13 303.1-08 EP 1 583 957 B1 US 7,355,200 B2

Ion-sensitive field effect transistor and method for producing an ion-sensitive field effect transistor

US 7,321,143 B2

Method and Apparatus for Controlling Deformable Actuators

EP 1 520 201 US 7,424,330

Method and apparatus for controlling exposure of a surface of a substrate

DE 603 33 398.2 EP 1 616 211 B1 (NL) JP 4188322 US 6,956,692 B2

Method and Apparatus for Microlithography

US 6,624,880 B2

Method for detecting an offset drift in a wheatstone measuring bridge

US 7,088,108 B2

Method for generating a micromechanical structure

US 7,940,439 B2

Method for Structuring a Device Layer of a Substrate

US 8,199,390 B2

Method for the compensation of deviations occurring as a result of manufacture in the manufacture of micromechanical elements and their use

US 7,951,635 B2

Method of fabricating a micromechanical structure out of two-dimensional elements and micromechanical device

US 7,929,192 B2

Micromechanical Device

US 7,078,778 B2

Micromechanical device with adjustable resonant frequency by geometry alteration and method for operating same

US 7,830,577 B2

Micromechanical Element

US 2011/0261431 A1

Micromechanical element which can be deflected

US 2008/0284078 A1

Microoptic reflecting component

US 7,490,947 B2

Micro-optical element having a substrate at which at least one vertical step is formed at an optically effective surface, a methode for its manufacture and uses

DE 60 2007 018 826.1 EP 2 089 773 A1

Mikroelektromechanisches Translationsschwingersystem

DE 10 2010 029 072 A1

Mikromechanisches Bauelement

DE 501 12 140.4-08 EP 1 410 047 B1

Mikromechanisches Bauelement

WO 2012/095185 A1

Mikromechanisches Bauelement mit einstellbarer Resonanzfrequenz

DE 503 11 766.8-08 EP 1 613 969 B1

Mikromechanisches Bauelement mit einstellbarer Resonanzfrequenz durch Geometrieänderung und Verfahren zum Betreiben desselben

DE 10 2007 001 516 B3 ZL 2007 1 0160893.6

Mikromechanisches Bauelement mit Schwingkörper

(AT|CH|FR|GB|IT|NL) 1 123 526 DE 598 04  942.8-08 EP 1 123 526 B1 US 6,595,055 B1

Mikromechanisches Bauelement mit Temperaturstabilisierung und Verfahren zur Einstellung einer definierten Temperatur oder eines definierten Temperaturverlaufes an einem mikromechanischen Bauelement

CN 101301992 A DE 10 2008 013 098 B4 US 8,147,136 B2

Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektrodenkämmen

CN 101284642 B DE 10 2008 012 825 B4 US 7,466,474 B2

Mikromechanisches Bauelement zur Modulation von elektromagnetischer Strahlung und optisches System mit demselben

DE 10 2007 047 010 B4

Mikromechanisches Bauelement, mikromechanisches System, Vorrichtung zum Einstellen einer Empfindlichkeit eines mikromechanischen Bauelements, Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements

CN 101301991 B DE 10 2007 021 920 B4 US 7,679,152 B2

Mikromechanisches Element

DE 10 2010 028 111 A1

Mikromechanisches Element und Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Elements

DE 10 2008 049 647 B4 US 2010/0097681 A1

Mikromechanisches Element, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung

CN 101139080 B DE 10 2006 043 388 B3

Mikromechanisches optisches Element mit einer reflektierenden Fläche sowie dessen Verwendung

CN 1896791 A DE 10 2005 033 800 A1 US 7,369,288 B2

Mikrooptische Anordnung

EP 1 717 631 A1 US 7,301,690 B2

Mikrooptisches Element mit einem Substrat, an dem an einer optisch wirksamen Oberfläche mindestens eine Höhenstufe ausgebildet ist, Verfahren zu seiner Herstellung und Verwendungen

DE 10 2006 057 567 B4 DE 60 2007 018 826.1 EP 2 089 773 A1

Mikrooptisches reflektierendes Bauelement

CN 1982201 B DE 10 2006 059 091 B4

Objektiv

DE 10 2010 040 030 A1

Optical apparatus of a stacked design, and method of producing same

US 8,045,159 B2

Optical device comprising a structure for avoiding reflections

CN 101281295 B

Optische Interferenzanordnung zur Einkopplung von elektromagnetischer Strahlung in einen photonischen Kristall oder Quasikristall

DE 10 2009 030 338 A1

Optische Vorrichtung in gestapelter Bauweise und Verfahren zur Herstellung derselben

DE 10 2008 019 600 A1

Optisches Bauelement mit einem Aufbau zur Vermeidung von Reflexionen

DE 10 2008 012 810 A1 US 7,760,414 B2

Optisches System

DE 10 2010 039 255 A1

Optoelektronisches Bauelement mit einer Leuchtdiode und einem Lichtsensor

DE 503 06 813.6-08 EP 1 597 774 B1

Oszillierend auslenkbares mikromechanisches Element und Verfahren zum Betreiben des Elementes

DE 11 2006 003 849 B4 US 7,932,788 B2

Portables elektronisches Gerät, externes Basisgerät, Verfahren zur Ankopplung des portablen elektronischen Geräts an ein externes Basisgerät und Verwendung des externen Basisgeräts zur Ankopplung des portablen elektronischen Geräts

DE 10 2010 043 154 A1 WO 2012/055706 A1

Positionssensor

DE 10 2010 029 818 A1

Projection apparatus for scanningly projection

US 7,847,997 B2

Projektionsvorrichtung

DE 501 05 156.2 EP 1 419 411 B1 (BE|FR|GB|NL) US 6,843,568 B2

Projektionsvorrichtung zum scannenden Projizieren

DE 10 2007 011 425 A1 ZL 2008 1 0083459.7

Quasi-Statische Auslenkvorrichtung für Spektrometer

DE 502 10 665.4-08 EP 1 474 666 B1 US 7,027,152 B2

Radiation generation device for generating electromagnetic radiation having an adjustable spectral composition, and method of producing same

US 2011/0128541 A1

Readerantenne für den Einsatz mit RFID-Transpondern

DE 10 2008 017 490 A1

Reduction of the dynamic deformation of translational mirrors using inertial masses

US 2012/0099175 A1

Reduzierung der dynamischen Deformation von Translationsspiegeln mit Hilfe von trägen Massen

DE 10 2009 033 191 A1 WO 2011/003404 A1

RFID-Abtastsystem ohne äußere Energieversorgung zur Abfrage des strukturellen Befindens

DE 11 2009 004 421 T5

Scanner und Verfahren zum Betreiben eines Scanners

DE 10 2005 002 190 B4 US 7,469,834 B2

Schutzstruktur für Halbleitersensoren

DE 10 2006 052 863 A1 US 7,728,363 B2

Self-powered RFID sensing system for structural health monitoring

US 2012/0068827 A1

Semiconductor substrate and methods for the production thereof

US 2010/0295066 A1

SLM Height Error Compensation Method

KR 10-2009-0065477

Spectral Decomposition Device and Manufacturing the same

US 2012/0236382 A1

Spektralzerlegungsvorrichtung und Herstellung derselben

DE 10 2010 040 768 A1

Spektrometer

DE 502 08 089.2-08 EP 1 474 665 B1 US 7,034,936 B2

Spiegelobjektiv

DE 10 2008 027 518 B3

Strahlungserzeugungsvorrichtung zum Erzeugen einer elektromagnetischen Strahlung mit einer einstellbaren spektralen Zusammensetzung und Verfahren zur Herstellung derselben

DE 10 2009 046 831 A1

Substrat, das zumindest bereichsweise an einer Oberfläche mit einer Beschichtung eines Metalls versehen ist, sowie dessen Verwendung

DE 10 2005 048 774 B4

System und Verfahren zur Bestimmung des Verankerungszustandes implantierter Endoprothesen

DE 10 2006 051 032 A1

Torsion spring for micromechanical applications

US 2007/0018368 A1

Torsionsfeder für mikromechanische Anwendungen

CN 1896557 B DE 10 2005 033 801 B4

Torsionsfederelement für die Aufhängung auslenkbarer mikromechanischer Elemente

CN 101426717 A DE 11 2006 003 854 B4

Verfahren und Strukturierung einer Nutzschicht eines Substrats

CN 101597021 B1 DE 10 2008 026 886 A1

Verfahren zum Herstellen eines Bauelementes mit einem beweglichen Abschnitt

DE 10 2005 002 967 B4 US 7,396,740 B2 ZL 2006 1 0005939.2

Verfahren zum Korrigieren der Oberflächenform eines Elements

EP 2 054 750 A1 EP 2 054 750 B1 (BE|NL) JP 4777460

Verfahren zur Erfassung einer Offsetdrift bei einer Wheatstone-Meßbrücke

DE 10 2004 056 133 B4 DE 50 2005 000 638.0-08 EP 1 586 909 B1

Verfahren zur Erzeugung einer mikromechanischen Struktur

CN 101279712 B DE 10 2008 013 116 A1

Verfahren zur Erzeugung einer mikro-mechanischen Struktur aus zweidimensionalen Elementen und mikromechanisches Bauelement

CN 101279711 B DE 10 2008 012 826 B4

Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils

DE 10 2004 015 142 B3 EP 1 714 172 B1 (NL) EP 2 003 474 B1 (NL) JP 4832423

Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen einer Abbildung

DE 10 2004 050 351 B3 US 7,465,051 B2

Vorrichtung und Verfahren zum Häusen mikromechanischer Systeme

DE 10 2007 001 518 A1

Vorrichtung und Verfahren zur Bildprojektion und/oder Materialbearbeitung

DE 503 05 392.9-08 EP 1 652 377 B1

Vorrichtung und Verfahren zur Durchführung einer berührungslosen Messung am Inhalt eines Behälters

DE 10 2010 043 131 A1

Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung oder Regelung eines oszillierend auslenkbaren mikromechanischen Elements

US 7,977,897 B2

Waschbares Elektronik-Flachsystem mit freien Anschlusskontakten zur Integration in ein textiles Material oder Flexmaterial

DE 10 2007 002 323 B4

Zeilenkamera für spektrale Bilderfassung

DE 10 2006 019 840 B4 US 7,728,973 B2