Nachfolgend sind die veröffentlichten bzw. erteilten Patente des Fraunhofer IPMS aufgelistet:

Belichtungsvorrichtung

EP (AT,CH,DE,FR,NL,SE) 0 527 166 B1; DE 591 05 735.2-08; US 5,296,891; JP 2938568

Erteilt.

Belichtungsvorrichtung (ASIC-Stepper)

EP (AT,CH,FR,NL,SE) 0 610 184 B1; DE 591 05 407.8-08; US 5,495,280; JP 2046472

Erteilt.

Belichtungsvorrichtung (ASIC-Stepper)

EP (AT,CH,FR,NL,SE,) 0 610 183 B1; DE 591 05 477.9-08; US 5,486,851; JP 2046473

Erteilt.

Anordnung zur Messung von Ionenkonzentrationen in Lösungen

DE 4228609C1; US 5,602,467

Erteilt.

Vorrichtung zur Absorption infraroter Strahlung

EP 0 664 926; DE 4234471C1; US 5,578,858

Erteilt.

Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Erfassung auffälliger Atemgeräusche

EP (BE,FR,GB,IT,NL) 0727962B1; DE 594 09 110.1-08; US 5,928,156

Erteilt.

Miniaturisierte Spulenanordnung hergestellt in Planartechnologie zur Detektion von ferromagnetischen Stoffen

EP (AT,BE,CH,FR,GB,SE) 0742906; DE 59503700.3-08; US 5,831,431

Erteilt.

Integrierter n-Kanal-Multispektralsensor mit Fuzzy-Logik

US 5,926,282

Erteilt.

Belichtungseinrichtung

EP (CH,FR,GB,LI,NL,SE) 0 811 181; DE 195 22 936; US 5,936,713; JP 3007163

Erteilt.

Phasenmodulierende Mikrostrukturen für höchstintegrierte Lichtventile mit elektronische Ansteuerung einschließlich Verfahren zu deren Herstellung

EP (FR,GB) 0 906 586 B1; DE 597 07 605.7-08; US 6,259,550 B1; JP 3258029

Erteilt.

Grenzwertsensoren für Beschleunigungen und dazugehörige Herstellungsverfahren sowie Herstellungsverfahren für elektromechanische Bauelemente

EP (CH,FR,GB,NL) 0 906 578 B1; DE 59603812.7-08; US6,539,798 B1; JP 3296567

Erteilt.

Passives HF-Element und Verfahren zum Betreiben, zum Herstellen und zum Bestimmen von charakteristischen Eigenschaften desselben

WO 99/23705

Veröffentlicht.

Sensorsystem und Herstellungsverfahren sowie Selbsttestverfahren

DE 197 35 379 B4

Erteilt.

Programmierbare, optisch sensitive Schaltung

DE 197 54 626 C2

Erteilt.

Antriebsprinzip zur Erzeugung resonanter Schwingungen von beweglichen Teilen mikromechanischer Bauelemente

EP (AT,CH,FR,GB,IT,NL) 1 123 526 B1; DE 598 04; 942.8-08; US US 6,595,055 B1

Erteilt.

Drehwinkelsensor

EP (BE,CH,FR,GB,NL,SE) 1 362 221 B1; DE 501 02 367.4-08; US US 6,781,368 B2

Erteilt.

A method and a device for reducing hysteresis or imprinting in a movable micro-element

EP 1 364 246; US US 2004/0150868 A1

Veröffentlicht.

Micromechanical Device

EP 1 410 047 B1; DE 501 12 140.4-08; US 7,078,778 B2

Erteilt.

Verfahren zur Verbesserung der Bildqualität und zur Erhöhung der Schreibgeschwindigkeit bei Belichtung lichtempfindlicher Schichten

US 6,844,916 B2

Erteilt.

Projektionsvorrichtung

EP (BE,FR,GB,NL) 1 419 411 B1; DE 501 05 156.2; US 6,843,568 B2

Erteilt.

Method and Apparatus for Controlling Deformable Actuators

US 7,424,330

Erteilt.

Spektrometer

EP 1 474 665 B1; DE 502 08 089.2-08; US 7,034,936 B2

Erteilt.

Device for Protecting a Chip and Method for Operating a Chip

EP (DE,NL,SE) 1 499 560 B1

Erteilt.

Ionensensitiver Feldeffekttransistor und Verfahren zum Herstellen eines ionensensitiven Feldeffekttransistors

EP (CH,FR,GB,SE) 1 436 607 B1; DE 502 02 661.8-08

Erteilt.

Quasi-Statische Auslenkvorrichtung für Spektrometer

EP 1 474 666 B1; DE 502 10 665.4-08; US 7,027,152 B2

Erteilt.

Mikromechanisches Bauelement mit einstellbarer Resonanzfrequenz

EP 1 613 969 B1; DE 503 11 766.8-08

Erteilt.

Ionensensitiver Feldeffekttransistor und Verfahren zum Herstellen eines ionensensitiven Feldeffekttransistors

EP 1 583 957 B1; DE 502 13 303.1-08; US 7,355,200 B2

Erteilt.

Aufbringung organischen Materials auf einem Substrat

DE 103 12 641 B4

Erteilt.

Lichtemittierendes Bauelement mit anorganisch-organischer Konverterschicht

TW I 242303

Erteilt.

Method for changing a conversion property of a spectrum conversion layer for a light emitting device

DE 103 12 679 B4; TW I277362

Erteilt.

Ionenselektiver Feldeffekttransistor und Verfahren zum Herstellen eines ionensensitiven Feldeffekttransistors

EP (CH) 1 601 957 B1; DE 503 04 800.3-08; US 7,321,143 B2

Erteilt.

Beschleunigungssensor und Verfahren zum Erfassen einer Beschleunigung

EP 1 608 988 B1; DE 503 08 298.8-08; US 7,059,189 B2

Erteilt.

Verfahren und Anordnung zur Erfassung von Verkehrsdaten mittels Detektion und Klassifikation sich bewegender oder stehender Fahrzeuge

EP (AT,BE,CH,DE,DK,ES,FR,GR,IT,NL,SE) 1 193 662 B1

Erteilt.

Method and apparatus for controlling exposure of a surface of a substrate

EP (NL) 1 616 211 B1; DE 603 33 398.2; JP 4188322

Erteilt.

A method to detect a defective element

EP (NL,SE) 1 583 946 B1; DE 60 2004 003 125.9-08; US 7,061,226 B2

Erteilt.

Optoelektronisches Bauelement mit einer Leuchtdiode und einem Lichtsensor

EP 1 597 774 B1; DE 503 06 813.6-08

Erteilt.

Apparatus and Method for Projecting Images and/or Processing Materials

EP 1 652 377 B1; DE 503 05 392.9-08; US 7,518,770 B2

Erteilt.

Leuchtkörper an einer Karosserie eines Fahrzeuges

DE 10 2004 018 647 A1

Veröffentlicht.

Verfahren zur hochauflösenden Detektion der Offsetdrift bei resistiven Wheatston-Meßbrücken

EP 1 586 909 B1; DE 50 2005 000 638.0-08; US 7,088,108 B2

Erteilt.

Display aus organischen Leuchtdioden und Verfahren zu dessen Herstellung

TW I248324

Erteilt.

Hochreflektiv beschichteter mikromechanischer Spiegel, Verfahren zu dessen Herstellung sowie dessen Verwendung

US 7,573,634 B2

Erteilt.

Vorrichtung und Verfahren zum Ansteuern einer organischen Leuchtdiode

TW I326065

Erteilt.

Beugungsgitter für elektromagnetische Strahlung sowie Verfahren zur Herstellung

EP 1 645 893 A1

Veröffentlicht.

Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen einer Abbildung

DE 10 2004 050 351 B3; US 7,465,051 B2

Erteilt.

SLM HEIGHT ERROR COMPENSATION METHOD

EP 1 826 614; WO 2007/096175 A1

Veröffentlicht.

Vorrichtung zur Reinigung von Innenräumen in Vakuumkammern

DE 10 2005 025 101 B3

Erteilt.

Anordnung zum Aufbau eines miniaturisierten Fourier-Transform-Interferometers für optische Strahlung nach dem Michelson- bzw. einen daraus abgeleiteten Prinzip

AT 413 765 B; US 7,301,643 B2

Erteilt.

Optimiertes Verfahren zur Darstellung anellierter, polycyclischer und polyheterocyclischer Aromaten

DE 10 2005 058 270 B3

Erteilt.

Vorrichtung zum Ermitteln einer Position eines Lichtstrahls und Verfahren zum Betreiben einer Vorrichtung zum Ermitteln einer Position eines Lichtstrahls

DE 10 2005 002 189 B4; CN ZL 2006 1 0006365.0

Erteilt.

Verfahren zum Herstellen eines Bauelementes mit einem beweglichen Abschnitt

US 7,396,740 B2; CN ZL 2006 1 0005939.2

Erteilt.

Flächiger Röntgendetektor

DE 10 2005 012 443 A1

Veröffentlicht.

Scanner und Verfahren zum Betreiben eines Scanners

DE 10 2005 002 190 B4; US 7,469,834 B2; CN ZL 2006 1 0006362.7

Erteilt.

Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils mittels oberflächenstrukturierender Laserbearbeitung

EP (NL) 1 714 172 B1; DE 10 2004 015 142 B3

Erteilt.

Mikrooptische Anordnung

US 7,301,690 B2

Erteilt.

Beleuchtungsvorrichtung

DE 10 2005 431 B4; US 7,646,451 B2

Erteilt.

Semiconductor substrate and methods for the production thereof

EP (FR,GB) 1 915 777 B1

Erteilt.

Mikromechanisches optisches Element mit einer reflektierenden Fläche sowie dessen Verwendung

US 7,369,288 B2

Erteilt.

Torsion spring for micromechanical applications

DE 10 2005 033 801 B4

Erteilt.

Micro-Optical diffraction grid and process for producing the same

US 2009/0225424 A1; CN 101273290 A

Veröffentlicht.

Element zur flächigen Beleuchtung

DE 10 2005 050 561 A1

Veröffentlicht.

Oszillierend auslenkbares mikromechanisches Element und Verfahren zum Betreiben des Elementes

US 2009/0302960 A1; CN 101460392 A

Veröffentlicht.

Substrat, das zumindest bereichsweise an einer Oberfläche mit einer Beschichtung eines Metalls versehen ist, sowie dessen Verwendung

DE 10 2005 048 774 B4

Erteilt.

Fourier transform spectrometer

US 7,733,493 B2

Erteilt.

Micromechanical element which can be deflected

US 2008/0284078 A1; CN 101316789 A

Veröffentlicht.

Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Licht emittierenden Elementen mit organischen Verbindungen

DE 10 2005 054 609 B4

Erteilt.

Torsionsfederelement für die Aufhängung auslenkbarer mikromechanischer Elemente

CN 101426717 A

Veröffentlicht.

Auslenkbares mikromechanisches System sowie dessen Verwendung

US 7,841,242 B2

Erteilt.

Mikromechanisches Bauelement

DE 10 2006 036 499 B4

Erteilt.

Microoptic reflecting component

US 7,490,947 B2

Erteilt.

Zeilenkamera für spektrale Bilderfassung

DE 10 2006 019 840 B4; US 7,728,973 B2

Erteilt.

Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung oder Regelung eines oszillierend auslenkbaren mikromechanischen Elements

US 2009/0072769 A1

Veröffentlicht.

Anordnung von mikromechanischen Elementen

WO 2007/140731 A1; US 2009/0310204 A1

Veröffentlicht.

Optische Anordnung

DE 10 2006 030 541 B4

Erteilt.

Verfahren zur Herstellung flächiger elektromagnetische Strahlung emittierender Elemente mit organischen Leuchtdioden

DE 10 2006 030 536 B3

Erteilt.

Verfahren zur Ansteuerung einer Passiv-Matrix-Anordnung organischer Leuchtdioden

DE 10 2006 030 539 A1; US 2008/0122371 A1

Veröffentlicht.

Verfahren zum Korrigieren der Oberflächenform eines Elementes

EP 2 054 750 B1

Erteilt.

Integrierter Optokoppler mit organischem Lichtemitter und anorganischem Photodetektor

US 7,626,207 B2

Erteilt.

Reflexkoppler mit integriertem organischen Lichtemitter

DE 10 2006 040 790 A1; JP 2008-98617

Veröffentlicht.

Verfahren zur Kompensation herstellungsbedingt auftretender Abweichungen bei der Herstellung mikromechanischer Elemente und deren Verwendung

DE 10 2006 043 388 B3

Erteilt.

Waschbares Elektronik-Flachsystem mit freien Anschlusskontakten zur Integration in ein textiles Material oder Flexmaterial

DE 10 2007 002 323 B4

Erteilt.

Schutzstruktur für Halbleitersensoren

US 7,728,363 B2

Erteilt.

System und Verfahren zur Bestimmung des Verankerungszustandes implantierter Endoprothesen

DE 10 2006 051 032 A1

Veröffentlicht.

Vorrichtung und Verfahren zum Häusen mikromechanischer Systeme

DE 10 2007 001 518 A1; CN 101234746 A

Veröffentlicht.

Mikromechanisches Bauelement mit einstellbarer Resonanzfrequenz durch Geometrieänderung und Verfahren zum Betreiben desselben

DE 10 2007 001 516 B3; US 7,830,577 B2; CN ZL200710160893.6

Erteilt.

Auslenkbare Struktur, mikromechanische Struktur mit derselben und Verfahren zur Einstellung einer mikromechanischen Struktur

DE 10 2007 015 726 A1

Veröffentlicht.

Projektionsvorrichtung zum scannenden Projizieren

CN ZL 2008 1 0083459.7

Erteilt.

Mikrooptisches Element mit einem Substrat, an dem an einer optisch wirksamen Oberfläche mindestens eine Höhenstufe ausgebildet ist, Verfahren zu seiner Herstellung und Verwendungen

DE 10 2006 057 567 B4

Erteilt.

Mikromechanisches Bauelement, mikromechanisches System, Vorrichtung zum Einstellen einer Empfindlichkeit eines mikromechanischen Bauelements, Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements

US 7,679,152 B2

Erteilt.

Selbstleuchtende Vorrichtung

DE 10 2005 057 699 A1

Veröffentlicht.

Dotiertes Halbleitermaterial und dessen Verwendung

DE 10 2007 037 905 A1

Veröffentlicht.

Verfahren zur Erzeugung einer mikromechanischen Struktur

DE 10 2008 013 116 A1; CN 101279712 A

Veröffentlicht.

Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektrodenkämmen

US 7,466,474 B2

Erteilt.

Optisches Bauelement mit einem Aufbau zur Vermeidung von Reflexionen

US 7,760,414 B2

Erteilt.

Verfahren zur Erzeugung einer mikro-mechanischen Struktur aus zweidimensionalen Elementen und mikromechanisches Bauelement

DE 10 2008 012 826 A1; CN 101279711 A

Veröffentlicht.

Mikromechanisches Bauelement mit Temperaturstabilisierung und Verfahren zur Einstellung einer definierten Temperatur oder eines definierten Temperaturverlaufes an einem mikromechanischen Bauelement

DE 10 2008 013 098 A1; CN 101301992 A

Veröffentlicht.

Chip zum Analysieren eines Mediums mit integriertem organischem Lichtemitter

DE 10 2007 056 275 B3

Erteilt.

Organic Electronic Component With Dessicant-Containing Passivation Material

DE 10 2007 046 018 A1; US 2009/0236717 A1

Veröffentlicht.

Mikromechanisches Bauelement zur Modulation von elektromagnetischer Strahlung und optisches System mit demselben

DE 10 2007 047 010 B4

Erteilt.

Elektronisches Bauelement und Verwendung von stickstoffhaltigen Makrozyklen als Dielektrikum in organischen elektronischen Bauteilen

DE 10 2007 037 906 A1

Veröffentlicht.

Modul und Verfahren zu seiner Herstellung

DE 10 2007 034 252 B4

Erteilt.

Verfahren zur Herstellung von Substraten

DE 10 2007 039 754 A1

Veröffentlicht.

Organische Leuchtdiode und Verfahren zu deren Herstellung

DE 10 2007 055 137 A1; US 2009/0127546 A1

Veröffentlicht.

Microwave-Assisted Synthesis of Fluorinated Phthalocyanines Molecules

WO 2009/139973 A1

Veröffentlicht.

OLED-Anzeige

EP 1 903 610 A2

Veröffentlicht.

Element, das selbsthaftend an einem Körper befestigbar ist

DE 10 2008 052 099 A1

Veröffentlicht.

Reader antenna for use with RFID transponders

DE 10 2008 017 490 A1; US 2009/0243785 A1

Veröffentlicht.

Method for Structuring a Device Layer of a Substrate

DE 10 2008 026 886 A1; US 2009/0303563 A1; CN 101597021 A

Veröffentlicht.

Schichtsystem mit Barriereeigenschaften und einer strukturierten leitfähigen Schicht, Verfahren zum Herstellen sowie Verwendung eines solchen Schichtsystems

WO 2010/127808 A1

Veröffentlicht.

Optische Vorrichtung in gestapelter Bauweise und Verfahren zur Herstellung derselben

DE 10 2008 019 600 A1

Veröffentlicht.

Spiegelobjektiv

DE 10 2008 027 518 B3

Erteilt.

Illumination apparatus and method of producing a planar light output

DE 10 2008 019 926 A1; US 2009/0262545 A1; JP 2009-266818

Veröffentlicht.

Datenspeicherschaltung mit integrierter Datenspeichereinheit für einen Sensor mit physikalisch-elektrischem Wandler

DE 10 2008 030 908 B4

Erteilt.

Flat Lighting Devices and Method of Contacting Flat Lighting Devices

DE 10 2008 027 519 A1; US 2009/0302729 A1; JP 2010-10130 A

Veröffentlicht.

Mikromechanisches Element und Sensor zur Überwachung eines mikromechanischen Elements

DE 10 2008 049 647 A1; US 2010/0097681 A1; JP 2010-134432 A

Veröffentlicht.

Organisches opto-elektrisches Bauelement und ein Verfahren zur Herstellung eines organischen opto-elektrischen Bauelements

DE 10 2008 049 057 A1

Veröffentlicht.

Self-powered RFID sensing system for structural health monitoring

WO 2010/097095 A1

Veröffentlicht.

Optisches Filter und ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Filters

DE 10 2009 021 936 A1

Veröffentlicht.