Substitution von NMP

N-Methyl-2-pyrrolidon (NMP) hat sich in der Reinraum-Halbleiterfertigung als essentielles Material für Lift-off-Prozesse und Lackentfernungen bewährt. Dieser chemische Stoff ermöglicht präzise Strukturierung von dünnen Schichten und Reinigung von Oberflächen, was besonders wichtig ist, um die Qualität und Leistung von Halbleiterbauelementen zu gewährleisten

Ab 2018 wurde NMP in den Anhang XVII der REACh-Verordnung aufgenommen, aufgrund seiner Reproduktionstoxizität und seiner reizenden Wirkung auf Augen, Haut und Atemwege. Seit Mai 2020 sind in der EU Verbraucherprodukte mit einem NMP-Gehalt von 0,3% oder mehr verboten.

Am Fraunhofer IPMS konzentrieren wir uns auf die Entwicklung von Prozessen unter Verwendung unbedenklicherer Produkte. Unsere Forschung zielt darauf ab, Ersatzstoffe für NMP zu identifizieren und zu erforschen.

Fraunhofer IPMS teil des Hubs für ressourcenoptimierte Elektronik-Produktion 

Für die Halbleiterindustrie er stellen wir eine umfassende Palette von untersuchten Bereichen bereit, um Ihre mikroelektronischen Prozesse zu optimieren. Unser Fokus liegt dabei auf ressourcenoptimierten Verfahren, der Schaffung einer energieeffizienten Reinraumumgebung und der Reduzierung schädlicher Abgasemissionen. Ein zentraler Aspekt unserer Arbeit ist die Einzelprozessoptimierung im Hinblick auf den Energieverbrauch sowie die Implementierung von Green Packaging und dem Ersatz kritischer Materialien wie CMR und/oder PFAS.

In unseren Fokusthemen konzentrieren wir uns darauf, Energieeinsparungen in ausgewählten Prozessen während des Betriebs zu realisieren. Zudem analysieren wir den Ressourceneinsatz während der Herstellung, einschließlich des CO₂-Fußabdrucks, sofern ausreichende Informationen für die Berechnung oder Einschätzung vorhanden sind. Wir bieten Ihnen die Möglichkeit, eine umfassende Ökobilanzierung für Ihren Herstellungsbereich durchzuführen.

Die Ergebnisse unserer Validierungsprojekte präsentieren wir in Form von Fallstudien, die das Einsparpotential durch den Einsatz von Green ICT-Technologien theoretisch beleuchten. Diese Endergebnisse werden transparent veröffentlicht, wobei unternehmensspezifische Daten auf Wunsch streng vertraulich behandelt werden. Wir sind bestrebt, innovative Lösungen anzubieten, die nicht nur Ihre Effizienz steigern, sondern auch einen nachhaltigen Beitrag zu Umwelt und Ressourcenschonung leisten.