MEMS Aktorik

Elektrostatisch vertikal auslenkbare Biegeaktoren (NED).

Digitale Mikroaktorik

Binär codierbare, elektrostatisch auslenkbare Biegeaktoren.

MEMS-Lautsprecher

Miniaturisierte Lautsprecher für Hörgeräte, Hearables und Im-Ohr-Kopfhörer.

MEMS-Pumpe

Miniaturisierte Pumpen, Ventile und Mikrodosiersysteme für Flüssigkeiten und Gase zur Verwendung in Mikrofluidiksystemen.

Mikrokippspiegel

Quasistatisch auslenkbare MEMS-Kippspiegel zur räumlichen Ablenkung von Laserstrahlen mit bidirektionalen NED-Aktoren.

Aktormatrix

Feld von MEMS-Aktorzellen, die zusammen einen quasistatischen Biegeaktor ergeben.

Mesoskopische Aktoren und Systeme

Kaum eine wachstumsstarke technische Branche kommt ohne mikrosystemtechnische Komponenten in Form von Sensoren oder Aktoren aus. Um die steigenden Anforderungen an die Leistungsfähigkeit mikromechanischer Komponenten zu erfüllen und die technische Basis für neue Anwendungen zu verbreitern, ist die weitere Miniaturisierung wesentlich. Die Miniaturisierung als Teil einer technischen Evolution bedeutet auch, dass neue aktorische Prinzipien für mikro- und nanomechanischen Systeme notwendig werden. Die Fraunhofer-Projektgruppe Mesoskopische Aktoren und Systeme (MESYS) entwickelt hierfür eine neue Klasse elektrostatischer Biegeaktoren (NED) und erprobt diese an MEMS-basierten Mikrosystemen verschiedenster Anwendungsfelder.

Anwendungsfelder

 

Elektrostatische Biegeaktoren (NED)

Vertikal und lateral elektrostatisch auslenkbare Biegeaktoren.

 

Mikrofluidik

Mikropumpen, Ventile und Dosiersysteme für die Silizium-basierte Mikrofluidik.

 

Anwendungsfelder elektrostatischer Biegeaktoren

Einsatzgebiete der neuen Klasse elektrostatischer, CMOS- und RoHS-kompatibler Biegeaktoren.

Pressemitteilungen

Presseinformation | 02.02.2017

Fraunhofer IPMS erhält Preis für neuartige, leistungsfähige Klasse elektrostatischer Mikroaktoren

Presseinformation | 17.01.2017

Photonics West 2017: Fraunhofer IPMS präsentiert neuartige MEMS-Biegeaktoren

Presseinformation | 08.01.2016

A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections

Presseinformation | 11.12.2015

Fraunhofer IPMS und BTU Cottbus-Senftenberg mit Beitrag über neues aktorisches Prinzip in »Nature«