Laserprojektion

2D-LinScan-Mikroscanner in Keramikgehäuse für Laserprojektionsanwendungen.

3D-TOF-Kamera

Optischer Scankopf einer 3D-TOF-Kamera mit integriertem MEMS-Scannerspiegelarray des Fraunhofer IPMS.

Spektralanalyse

Miniaturisiertes Quantenkaskadenlaser (QCL)-Modul mit integriertem MEMS-Beugungsgitter des Fraunhofer IPMS.

LDC-1D-Scannermodul

LDC (Light Deflection Cube) Scankopf bestückt mit einem MEMS-Scanner des Fraunhofer IPMS.

VarioS®-Mikroscanner-Konfigurator

VarioS®-MiKroscanner-Konfigurator erlaubt es Kunden, innerhalb weniger Wochen individualisierte Mikroscanner-Demonstatoren zu beziehen und so Applikationen schneller zu testen.

Resonante Mikroscanner

Mikroscanner im Größenvergleich. Spiegeldurchmesser bis zu 5mm.

MEMS-Scanner

Scannerspiegel, entweder resonant oder quasi-statisch betrieben, sind die Technologie der Wahl, wenn es darum geht, Licht mit sehr kompakten Systemen gezielt abzulenken. Beim Fraunhofer IPMS finden Sie gleichermaßen technologische Kompetenz für die Bauteil- und Systementwicklung und Anwendungs-Know-how aus über 10 Jahren Entwicklungsarbeit.

In den vergangenen Jahren hat das Fraunhofer IPMS mehr als 50 verschiedene resonante MEMS-Scanner entwickelt, die als ein- oder zweidimensional ablenkende Elemente oder auch zur optischen Weglängenmodulation eingesetzt werden. Mögliche Scan-Frequenzen reichen von ca. 0,1 kHz bis zu 50 kHz. Die Anwendungsbreite erstreckt sich von Strichcode-Lesesystemen über die 3D-Messtechnik bis hin zur Laserprojektion, Spektroskopie und Fokuslagenmodulation. Ein praktisches Beispiel ist ein Scannerspiegel mit Beugungsgitter für spektroskopische Anwendungen. Dieser wird seit 2007 kommerziell von der HiperScan GmbH, einer Ausgründung des Fraunhofer IPMS, in einem neuartigen Nahinfrarot-Mikrospektrometer angeboten. Darüber hinaus beschäftigt sich das Fraunhofer IPMS mit anwendungsspezifischen Scannerspiegeln z. B. für Fourier-Transform-Spektrometer, die konfokale Mikroskopie, hochminiaturisierte Displays, ultrakompakte Laserprojektionssysteme, für die Bildaufnahme in Endoskopen sowie für die Abstandsmessung (Triangulation).

Neben den resonanten Scannern werden auch quasistatisch auslenkbare Mikroscanner für Anwendungen wie das Laserstrahlpositionieren oder vektorielles Scannen entwickelt.

Interessenten haben die Möglichkeit, über die Internetplattform www.micro-mirrors.com kundenspezifische resonante Scanner schnell und kostengünstig für ihre Evaluierung zu beziehen.

Sehen Sie unsere 1D- und 2D-Scannerspiegel in Aktion:

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Pressemitteilungen

Presseinformation | 26.04.2016

MEMS-Technologie ebnet Weg für alltagstaugliche Spektrometer

Presseinformation | 20.01.2015

Fraunhofer IPMS entwickelt MEMS-Technologie für die Spektroskopie im mittleren Infrarotbereich