Leistungszentrum MikroNano

Das Fraunhofer IPMS ist Partner im Leistungszentrum »Funktionsintegration für die Mikro-/Nanoelektronik« (LZ Mikro/Nano). Dieses vereint die entlang der Wertschöpfungskette für Produkte der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik angeordneten Kompetenzen der vier Fraunhofer-Institute/-Außenstellen IPMS, ENAS, IIS-EAS und IZM-ASSID sowie der Universitäten/Hochschulen TU Dresden, TU Chemnitz und HTW Dresden.

Mit dem LZ Mikro/Nano wurde eine institutsübergreifende Plattform für die Kernkompetenzen Systemdesign, Komponenten & Fertigungstechnologien, Systemintegration sowie Zuverlässigkeitsbewertung geschaffen. Diese Kernkompetenzen werden genutzt um insbesondere die folgenden FuE-Themen hoher Industrierelevanz zu bearbeiten:

  • Neue Materialien für neue Funktionalitäten
  • Modulare heterogene Wafersysteme
  • Plattform für Ultraschallsensorik
  • Integrierte Spektrometer mit Nanostrukturen / Optische Systeme
  • Sensoren/Aktoren in Werkzeugen und Maschinen

Im Hinblick auf eine Weiterführung des Formats »Leistungszentrum« ab 2021 beteiligt sich das LZ Mikro/Nano an dem von der Fraunhofer Gesellschaft initiierten Road Mapping Prozess zur Weiterentwicklung der Zentren hin zu »Leistungszentren mit Transferverbindlichkeit«. Bedingt durch die inhaltliche Ausrichtung wird der Transfer durch Auftragsforschung / Pilotfertigung zukünftig für das LZ Mikro/Nano eine hohe Priorität haben, flankiert durch eine angepasste Verwertung von Schutzrechten inkl. Lizenzierung sowie eine gezielte Unterstützung von Ausgründungen.