Microfluidic Control and Switching Valves

Whitepaper #4: Silicon-based Microfluidic Control and Switching Valves

Fraunhofer IPMS

In this paper, the design and implementation of two novel electrostatic 2/2-way microvalves are reported. The innovation claims include: 

  • (1) implementation of an in-plane electrostatic driving mechanism in a microvalve device using Nanoscopic Electrostatic Drive (NED) bending actuators
  • (2) parallelization of flow orifices over the device minimizing the hydraulic device resistance, thus enabling high throughput flow rates up to 200 sccm at 1 bar for gases.

Inhalt:

  1. Background / State-of-the-art
  2. Description of the novel valve system
  3. Simulation results

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Silicon-based Microfluidic Control and Switching Valves

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