Fraunhofer IPMS wirbt auf Semicon mit Standard-MEMS aus einer Hand

Dresden, / 19.9.2011

Mikrosystem-Reinraum des Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme in Dresden mit Verbindungssteg zum Institutsgebäude

Mikrosystem-Reinraum des Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme in Dresden mit Verbindungssteg zum Institutsgebäude.

VarioS Mikroscanner-Baukasten: online vom Wafer zum Bauelement

VarioS Mikroscanner-Baukasten: online vom Wafer zum Bauelement.

Mikro-Elektromechanische Bauelemente – MEMS haben Dank ihrer winzigen Abmessungen, Multifunktionalität und Energiesparsamkeit bereits verschiedenste Innovationen hervorgebracht und sind für unzählige zukünftige Anwendungen prädestiniert. MEMS stehen jedoch im Ruf, dass ihre Entwicklung und Fertigung gleichermaßen zeitaufwendig und teuer ist. Denn jedes mikro-elektromechanische System, so sagt das sogenannte »MEMS-Law«, fordert seinen eigenen individuellen Prozess für Fertigung und Packaging. Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS in Dresden hat nun Wege aufgezeigt, diesem Dilemma zu entkommen und Standards für die Entwicklung von MEMS und MOEMS einzuführen. Eine erste Lösung bezogen auf kundenspezifische Mikroscanner, mit der Entwicklungszeiten und Kosten entscheidend reduziert werden können, ist der sogenannte Mikroscanner-Baukasten VarioS. Auf der Halbleitermesse Semicon haben Besucher die Möglichkeit, sich mit den Produkten und Leistungen des Dresdner Instituts vertraut zu machen.

Der Mikroscanner-Baukasten VarioS erlaubt es auf verblüffend einfache Weise, individualisierte Mikroscanner per Internet unter www.micro-mirrors.com aus 150 gefertigten und im Lager befindlichen Designs zu konfigurieren. Wesentliche Eigenschaften wie Mikroscanner-Typ (1D, 2D), Spiegeldurchmesser, Scanfrequenz (0,1 - 50 kHz) und dynamische optische Planarität können individuell innerhalb eines verfügbaren Designraums festgelegt werden.

»Unser Angebot zeichnet sich dadurch aus, dass wir Entwicklung, Fertigung und Integration von Technologien für Mikro-Elektro-Mechanische Systeme und Mikro-Opto-Elektro-Mechanische Systeme aus einer Hand anbieten«, sagt Institutsleiter Hubert Lakner und betont »VarioS zeigt nun eindrucksvoll, dass wir darüber hinaus in der Lage sind, MEMS Bauelemente auch in kleinen Mengen zu günstigen Preisen mit kurzen Lieferzeiten herzustellen. Damit können wir auch in Punkto Lieferzeit und Preis im Wettbewerb mit kommerziellen MEMS-Foundries bestehen«.

Mit seinem erstklassigen Technologie-Know-how, langjährigen Erfahrungen mit industriellen Fertigungsprojekten und der erforderlichen Infrastruktur mit modernsten Anlagen und 1500 m² Reinraumfläche in der Reinheitsklasse 10 will das Fraunhofer IPMS auf der Semicon Europe 2011 vor allem kleine und mittlere Unternehmen erreichen, die nicht über eigene MEMSEntwicklungskapazitäten oder die erforderliche Ausrüstung verfügen. Diese Möglichkeiten für die Umsetzung anspruchsvollster Forschungs- und Pilot-Fertigungsvorhaben kennen zu lernen, lädt das Fraunhofer IPMS die Besucher zu einem Kurzvortrag in die TechArena am 11. Oktober um 15.45 Uhr sowie zusätzlich am zweiten Messetag, am 12. Oktober zu einer geführten Tour durch das Institut mit Reinraumbesichtigung und Produktdemonstration im Schauraum ein. Start der insgesamt zweistündigen Tour ist am Messestand 1.071 des Fraunhofer IPMS in Halle 1, um 16.30 Uhr. Die kostenlose Tour ist auf 20 Personen beschränkt. Für den Bus-Transfer zum Institut und zurück ist gesorgt. Um Anmeldung wird gebeten.

Mikrosystem-Reinraum des Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme in Dresden mit Verbindungssteg zum Institutsgebäude.

VarioS Mikroscanner-Baukasten: online vom Wafer zum Bauelement.

Über Fraunhofer IPMS

Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS realisiert mit 220 Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern ein jährliches Forschungsvolumen von nahezu 26 Millionen Euro. Mehr als zwei Drittel dieses Leistungsbereichs erwirtschaftet das Fraunhofer IPMS mit Aufträgen aus der Wirtschaft und mit öffentlich finanzierten Projekten der angewandten Forschung. Im Fokus der Entwicklungs- und Fertigungsleistungen steht die industrienahe Verwertung der alleinstellenden technologischen Kompetenzen auf dem Gebiet der (optischen) Mikro-Elektromechanischen Systeme [MEMS, MOEMS]. Dabei nutzt das Fraunhofer IPMS wissenschaftliches Know-how, Applikationserfahrung und Kundenkontakte sowie moderne Anlagentechnik und Reinraum-Infrastruktur. Das Fraunhofer IPMS deckt eine breite Palette industrieller Anwendungen ab. Das Leistungsangebot reicht von der Konzeption über die Produktentwicklung bis zur Pilotserienfertigung – vom Bauelement bis zur kompletten Systemlösung.