Fraunhofer IPMS

Hauptsitz auf der Maria-Reiche-Straße in Dresden.

Fraunhofer IPMS

Geschäftsfeld »Center Nanoelectronic Technologies« (CNT) auf der Königsbrücker Straße in Dresden.

Fraunhofer IPMS

Institutsteil »Integrated Silicon Systems« (ISS) am Standort Cottbus.

Fraunhofer-Projektzentrum

Projektzentrum »Mikroelektronische und Optische Systeme für die Biomedizin«, gemeinsam mit Fraunhofer IOF und IZI in Erfurt betrieben.

Profil

Jährliches Budget (Mio. €)

Mitarbeiter & Mitarbeiterinnen

Das Fraunhofer IPMS ist Ihr Forschungs- und Servicepartner auf dem Gebiet optischer Sensoren und Aktoren, ASICs, Mikrosysteme (MEMS / MOEMS) sowie Nanoelektronik.

Als eine von gegenwärtig 72 eigenständigen Einrichtungen der Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., der europaweit führenden Organisation für industrienahe Forschung, arbeiten wir mit mehr als 300 Mitarbeitern gemeinsam mit Industrieunternehmen, Dienstleistungsunternehmen und der öffentlichen Hand an Projekten zum direkten Nutzen für Unternehmen und zum Vorteil der Gesellschaft. Das Fraunhofer IPMS ist Teil des Fraunhofer-Verbundes Mikroelektronik VµE und engagiert sich in zahlreichen regionalen und internationalen Netzwerken der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik.

Um den hohen Ansprüchen unserer Kunden zu genügen, ist das Fraunhofer IPMS für Forschung, Entwicklung und Fertigung photonischer Mikrosysteme, die entsprechenden Halbleiter- und Mikrosystemprozesse, integrierte Aktorik/Sensorik und Beratung von der DEKRA nach der Norm DIN EN 9001:2015 zertifiziert.

 

Unser Institut ist an vier Standorten vertreten:

Der Hauptsitz befindet sich auf der Maria-Reiche-Straße 2 in Dresden-Klotzsche. Auf dem Gelände befindet sich ein 1500 m² großer MOEMS/MEMS-Reinraum (Klasse 4 nach ISO 14644-1), der für die Technologieentwicklung bis hin zur Pilotfertigung innovativer Mikrosysteme auf 200 mm genutzt werden kann. Das Leistungsangebot umfasst die Waferprozessierung, Charakterisierung & Test, Aufbau- und Verbindungstechnik sowie die Organisation von externen Dienst- und Zulieferleistungen.

Das Geschäftsfeld »Center Nanoelectronic Technologies« verfügt über eine eigene Infrastruktur für die Prozess- und Materialentwicklung auf 300 mm Wafer auf der Außenstelle Königsbrücker Straße 178 innerhalb des Infineon Technologies Areals. Zur Bearbeitung der Kundenaufträge stehen auf 800 m² Reinraumfläche (Klasse 6 nach ISO 14644-1) und 650 m² Laborfläche über 40 Prozessierungs- und Analytiktools zur Verfügung. Der Anlagenpark umfasst unter anderem Abscheide- und Ätzanlagen sowie Inspektions- und Analysegeräte zum Bestimmen von Defekten und dem Messen von Schichteigenschaften.

Am Standort Cottbus arbeiten wir im Institutsteil »Integrated Silicon Systems« sowohl an monolithisch integrierten Aktor- und Sensorsystemen als auch an Terahertz-Mikromodulen und -Applikationen.

Im gemeinsam mit Fraunhofer IOF und IZI in Erfurt betriebenen Projektzentrum »Mikroelektronische und Optische Systeme für die Biomedizin« liegt der Fokus auf neuartigen Systemen für Anwendungen in der Biomedizin.

Übersicht über unsere Standorte

 

Dresden - Hauptsitz

Photonische Mikrosysteme

Maria-Reiche-Straße 2
01109 Dresden

Tel. +49 351 88 23-0
Fax +49 351 88 23-220

 

Dresden - Geschäftsfeld

Center Nanoelectronic Technologies

Königsbrücker Straße 178
01099 Dresden

Tel. +49 351 26 07-30 01
Fax +49 351 26 07-30 05

 

Cottbus - Institutsteil

Integrated Silicon Systems

Konrad-Zuse-Straße 1
03046 Cottbus

Tel. +49 355 69 24 83

 

Erfurt - Projektzentrum

Mikroelektronische und Optische Systeme für die Biomedizin

Herman-Hollerith-Straße 3
99099 Erfurt

Tel. +49 351 88 23-201