Fraunhofer IPMS

Hauptgebäude auf der Maria-Reiche-Straße in Dresden.

Fraunhofer IPMS

Center Nanoelectronic Technologies (CNT) auf der Königsbrücker Straße in Dresden.

Fraunhofer IPMS

150/200 mm MEMS/MOEMS Reinraum auf der Maria-Reiche-Straße in Dresden.

Fraunhofer IPMS

Im 300 mm Reinraum des CNT auf der Königsbrücker Straße in Dresden.

Profil

Jährliches Budget (Mio. €)

Mitarbeiter & Mitarbeiterinnen

Das Fraunhofer IPMS mit Sitz in Dresden ist Ihr Forschungs- und Servicepartner auf dem Gebiet optischer Sensoren und Aktoren, ASICs, Mikrosysteme (MEMS / MOEMS) sowie Nanoelektronik.

Als eine von gegenwärtig 67 eigenständigen Einrichtungen der Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., der europaweit führenden Organisation für industrienahe Forschung, arbeiten wir mit rund 280 Wissenschaftlern gemeinsam mit Industrieunternehmen, Dienstleistungsunternehmen und der öffentlichen Hand an Projekten zum direkten Nutzen für Unternehmen und zum Vorteil der Gesellschaft. Das Fraunhofer IPMS ist Teil des Fraunhofer-Verbundes Mikroelektronik VµE und engagiert sich in zahlreichen regionalen und internationalen Netzwerken der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik.

Um den hohen Ansprüchen unserer Kunden zu genügen, ist das Fraunhofer IPMS für Forschung, Entwicklung und Fertigung photonischer Mikrosysteme, die entsprechenden Halbleiter- und Mikrosystemprozesse, integrierte Aktorik/Sensorik und Beratung von der DEKRA nach der Norm DIN EN 9001:2008 zertifiziert.

Unser Institut besitzt zwei Standorte in Dresden:

Das Hauptgebäude befindet sich auf der Maria-Reiche-Straße 2 in Dresden-Klotzsche. Auf dem Gelände befindet sich ein 1500 m² großer MOEMS/MEMS-Reinraum (Klasse 4 nach ISO 14644-1), der für die Technologieentwicklung bis hin zur Pilotfertigung innovativer Mikrosysteme auf 150 mm genutzt werden kann. Das Leistungsangebot umfasst die Waferprozessierung, Charakterisierung & Test, Aufbau- und Verbindungstechnik sowie die Organisation von externen Dienst- und Zulieferleistungen. Auf der Maria-Reiche-Straße sind 230 der insgesamt 280 Mitarbeiter beschäftigt.

Das Geschäftsfeld CNT verfügt über eine eigene Infrastruktur für die Prozess- und Materialentwicklung auf 300 mm Wafer auf der Außenstelle Königsbrücker Straße 178 innerhalb des Infineon Technologies Areals. Zur Bearbeitung der Kundenaufträge stehen auf 800 m² Reinraumfläche (Klasse 6 nach ISO 14644-1) und 650 m² Laborfläche über 40 Prozessierungs- und Analytiktools zur Verfügung. Der Anlagenpark umfasst unter anderem Abscheide- und Ätzanlagen sowie Inspektions- und Analysegeräte zum Bestimmen von Defekten und dem Messen von Schichteigenschaften.

Institutsleitung

Hubert  Lakner

Contact Press / Media

Prof. Hubert  Lakner

Geschäftsführender Institutsleiter

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
Maria-Reiche-Str. 2
01109 Dresden

Telefon +49 351 88 23-111

Fax +49 351 88 23-266

Harald  Schenk

Contact Press / Media

Prof. Harald  Schenk

Institutsleiter

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
Maria-Reiche-Str. 2
01109 Dresden

Telefon +49 351 88 23-154

Fax +49 351 88 23-266