Umweltschonende Reinigungstechnologien in der Mikrochipfertigung

Umweltschonende Reinigungstechnologien in der Mikrochipfertigung#

© Intelligent Fluids GmbH
Einzelschritte des „metal lift off“.

Viele Einzelprozessschritte sind nötig, bevor in der Mikroelektronik ein Chip entsteht. Dabei ist es immer wieder notwendig, Wafer zu reinigen oder bestehende Schichten ganz oder teilweise zu entfernen. Üblicherweise geschieht dies unter Nutzung von aggressiven chemischen Reinigungsverfahren. Am Fraunhofer IPMS wird zusammen mit Partnern eine alternative Technologie entwickelt, die leistungsfähiger, kostengünstiger und vor allem umweltfreundlicher ist.

Die auf Phasenfluiden basierende Technologie setzt neue Standards in Sachen Umweltfreundlichkeit, Arbeitssicherheit und Anlagenverträglichkeit und stellt einen großen Schritt in Richtung Green Fab bei der Halbleiterproduktion dar. Zudem können Prozessabläufe vereinfacht werden, was Einsparungen bei der Produktionszeit und den Verbrauchsmitteln mit sich bringt und neue Anwendungsszenarien bei der Prozessintegration ermöglicht. Im Gegensatz zu herkömmlichen Verfahren, bei denen z.B. Fotolacke mittels aggressiven Lösungsmitteln und zum Teil toxischen Chemikalien aufgelöst und im Anschluss aufwendig entsorgt werden, unterwandern Phasenfluide die entsprechenden Schichten, fragmentieren sie und „heben“ diese defektfrei von der Waferoberfläche ab. Im Anschluss werden das Phasenfluid und der abgelöste Fotolack mit DI-Wasser abgespült und rückstandsfrei entfernt.

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Andreas Bartzsch (Intelligent Fluids GmbH)

„intelligent fluids" heben die Reinigungsprozesse auf ein neues Niveau in Performance und Umweltverträglichkeit und reduzieren den Einsatz von kritischen Chemikalien drastisch. Diese neue Generation von Fluiden ist schonend für Umwelt, Mensch und ist nicht umsonst mit dem Global Green Product Award 2021 for Circular Materials ausgezeichnet worden.

Fraunhofer – IPMS ist seit Jahren unser Top-Entwicklungspartner. Gemeinsam entwickeln wir für neueste Technologien in der Mikroelektronik hochwirksame und nachhaltige Fluide, die in den Halbleiterfertigungen der nächsten Generation mit integriert werden können.“ - Andreas Bartzsch – Sales Director Microelectronics bei Intelligent Fluids GmbH.