MEMS-Toolpark und Reinraum

MEMS-Reinraum

200 mm MEMS-Reinraum

  • Low volume & high mix
  • 24/5 - 3 Schichtbetrieb
  • 45 Ingenieure + 45 Operatoren und Wartungstechniker
  • i-line (400nm L&S) und DUV-Cluster (130nm L&S)
  • ~1.000 Waferstarts pro Monat
  • CMOS-Kompatibilität
  • Klasse 10 (ISO 4) auf 1.500 m²
  • ISO 9001:2015 Zertifizierung
  • MES für Planung, Rückverfolgbarkeit und Dokumentation

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MEMS-Technologien Dresden