Diffraktives MEMS-Kit: Kipp-Mikrospiegel-Array

Diffraktives MEMS-Kit: Kipp-Mikrospiegel-Array

© Fraunhofer IPMS
Mikrospiegel-Array und Adress-Elektronik.
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Beispiel für ein Mikrospiegel-Array in einem PGA-Gehäuse.
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REM-Nahaufnahme eines einzelnen Kippspiegels, 16 × 16 μm², und des benachbarten Bereichs, in dem die Spiegelplatte entfernt wurde, um die Struktur des MEMS-Aktors sichtbar zu machen.

Das Fraunhofer IPMS entwickelt kundenspezifische Mikrospiegel-Arrays, die als räumliche Lichtmodulatoren (SLMs) im tiefen UV bis zum nahen Infrarot-Spektralbereich eingesetzt werden. Das vorliegende "DIFFRACTIVE MEMS KIT" wurde für Proof-of-Concept-Untersuchungen konzipiert, um neue Anwendungen zu erforschen und das Prototyping in Forschung und Entwicklung zu unterstützen.

Das SLM-Modul basiert auf einem Array von analogen Kipp-Mikrospiegeln. Es ermöglicht eine hochauflösende optische Phasenkontrolle bei hoher Geschwindigkeit. Das "DIFFRACTIVE MEMS KIT" umfasst neben dem Mikrospiegelchip selbst die komplette Ansteuerungselektronik sowie eine Schnellstart-Software und eine flexible PC-Schnittstellenbibliothek.

Mikro-Spiegel-Bauelement

Der diffraktive MEMS-Baustein besteht aus einer segmentierten 256 × 256 großen Anordnung von 16 μm großen Kippspiegelelementen, die eine kontinuierliche Torsion für die reine Phasenmodulation des einfallenden Lichts ermöglichen. Jedes Spiegelelement kann unabhängig adressiert und quasi kontinuierlich zwischen Null und dem Blaze-Winkel bei tiefen UV- oder höheren Wellenlängen abgelenkt werden. Jedes gewünschte Ablenkungsmuster kann für das gesamte Array mit hoher Geschwindigkeit ohne iterative Zyklen programmiert werden.