Dresden, 18. Januar 2010

Der neue MEMS-Reinraum mit seinen 1500 m² Nutzfläche der Klasse 10 ist direkt mit dem Institutsgebäude verbunden.
Foto: René Gaens
Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS führt kundenspezifische Entwicklungen in den Bereichen Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik durch. Es ist dabei Partner von der ersten Idee über Machbarkeitsuntersuchungen bis zur Prototypenentwicklung. Die Produkte können in der eigenen Prozesslinie entwickelt und als Pilotserie gefertigt werden. Rund 240 Wissenschaftler arbeiten mit modernstem Equipment an Projekten auf den Gebieten Sensor- und Aktuatorsysteme, Mikroscanner, Flächenlichtmodulatoren, Lifetronics und Organische Materialien und Systeme.
Am Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS gibt es alles, was für die Entwicklung, Fertigung und Integration von Technologien für Mikro-Elektro-Mechanische Systeme (MEMS) und Mikro-Opto-Elektro-Mechanische Systeme (MOEMS) erforderlich ist: Erstklassiges Technologie-Know-how, langjährige Erfahrungen mit industriellen Fertigungsprojekten und die erforderliche Infrastruktur mit modernsten Anlagen und 1.500 m² Reinraumfläche in der Reinheitsklasse 10. Mit diesem Potenzial, das sich sowohl von kommerziellen MEMS-Foundries als auch konkurrierenden Forschungseinrichtungen abhebt, will das Institut auf der MicroNanoTec, der weltweit einzigen eigenständigen Fachausstellung für die anwendungsorientierte Mikrosystemtechnik, Nano- und Lasertechnologie als Teil der Hannovermesse vom 19. - 23. April besonders kleine und mittlere Unternehmen beim Einsatz innovativer MEMS-Technologien unterstützen.

Blick in den Mikrosystem-Reinraum des Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme in Dresden.
Foto: Jürgen Lösel
MEMS-Bauelemente mit unterschiedlichster Funktion stecken heute in einer Vielzahl von Produkten wie Druckern, Kraftfahrzeugen, Mobiltelefonen oder Computern. Sie werden als Sensoren in der Prozesstechnik und Qualitätskontrolle genauso eingesetzt wie in der Telekommunikation und der Medizintechnik. Dass die Entwickler des Fraunhofer IPMS jetzt verstärkt auf der Hannovermesse auf potentielle Kunden zugehen, hängt mit dem Ausbau der Infrastruktur der vergangenen Jahre und der steigenden Nachfrage nach speziellen Prozessmodulen bei der MEMS-Technologieentwicklung und -fertigung zusammen. »Die Herstellung von Mikrosystemen erfolgt in spezialisierten Reinräumen, deren Bau, Inbetriebnahme und Betrieb für die Herstellung eigener Produkte sich nur wenige Großunternehmen leisten können«, sagt Institutsdirektor Prof. Dr. Hubert Lakner. »Unser Geschäftsmodell ermöglicht es auch kleinen und mittleren Unternehmen, die diese Aufwendungen nicht aufbringen können oder wollen, hoch spezialisierte und konkurrenzfähige MEMS-Produkte zu entwickeln und zu verkaufen. Mit den durchgeführten Investitionen in Reinrauminfrastruktur und Anlagentechnik finden Sie in uns einen kompetenten Partner, mit dem Sie gemeinsam den gesamten Weg von der Machbarkeitsstudie über die Simulation und Technologieentwicklung bis hin zur Fertigung einzelner Prozessschritte oder auch kompletter Kleinserien beschreiten können«.
Diese Möglichkeiten kennen zu lernen, lädt das Fraunhofer IPMS die Besucher der MikroNanoTec zum Messestand F1 auf dem Block des IVAM-Gemeinschaftsstandes in Halle 6 sowie zum Vortrag »MEMS Foundry Services @ Fraunhofer IPMS« in das Forum »Innovations for Industry«. Der spezielle Fokus: Foundry Services und die Herstellung von MEMS-Bauelementen in Standardtechnologien, wobei die entsprechenden Kenndaten der Bauelemente und Layout-Richtlinien vordefiniert sind und entsprechend der Anwendung des Kunden durch Simulation getestet werden.
© 2007 Fraunhofer IPMS
Aktualisiert: 2010-02-02