Von Machbarkeitsuntersuchungen bis zur Entwicklung von kompletten Fertigungs­technologien: Das Fraunhofer IPMS bietet seinen Kunden den kompletten Service für die Entwicklung von Technologien für Mikro-(Opto)-Elektro-Mechanische Systeme (MEMS und MOEMS). Auf Kundenwunsch übernehmen wir die Pilot-Fertigung oder unterstützen den Technologietransfer. Darüber hinaus stellen wir Foundry-Services für Einzelprozesse, Module und Gesamt­technologien zur Verfügung. Grundlage ist unsere umfangreiche Technologie­kompetenz auf dem Gebiet der Ober­flächen­mikro­mechanik und Bulk­mikro­mechanik. Diese kombiniert mit unserem HV-CMOS-Prozess erlaubt die Herstellung von monolithisch integrierten Aktorsystemen.