Analytical Services

Unser Institut bietet eine umfangreiche Analytik: von der Raman-Spektroskopie über FIB, ToF-SIMS, Elektronenmikroskopie bis hin zur Inline Metrologie.

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Analytical Services for Nanoelectronics

Röntgendiffraktion/Röntgenreflektometrie

Equipment: Bruker D8 Discover

Beispielanwendungen:
  • Epi - Schichtcharakterisierung
  • Schichtdicken und Dichtebestimmung von Hf(Si)O2 - Dünnschichten
  • Texturanalyse von Wolfram-Schickten nach CMP
  • Kristallisation ferroelektrischer Dünnschichten

Raman-Spektroskopie

Equipment: Renishaw InVia Reflex

Beispielanwendungen:
  • Schichtspannung in Gräben (top down & cross section)
  • Örtlich aufgelöste Temperaturmessungen
  • Örtlich aufgelöste Phasenanalyse

Sekundärionenmassenspektrometrie (ToF SIMS)

Equipment: ION-TOF ToF-SIMS 300R

Beispielanwendungen:
  • Analyse von RRAM-Stapeln
  • Diffusion von Si in Al2 O3
  • Auswirkungen von Protoneneinstrahlung auf die Sb-Verteilung in Ge / GeSb - Stapeln

Elektronenmikroskopie

Equipment: FEI Tecnai F20/XT & Hitachi S5000

Beispielanwendungen:
  • EFTEM 
  • EDX Anaylse von Dünnschichtstapeln
  • Evaluierung von Ätzprofilen
  • HAADF-STEM
  • Physikalische Fehleranalyse

Inline-Metrologie

Beispielanwendungen:
  • Wafermapping der Oberflächenzusammensetzung (Equipment: ThermoFischer Theta300i ARXPS)
  • Wafermapping von Schichtdicken (Equipment: KLA Tencor Spectra FX100 & Bede Metrix-F)
  • Profilometrie (Equipment: KLA Tencor HRP340)
  • Fehlerinspektion (KLA Tencor SP2 SurfScan, Applied Materials G3 SEMVision & NextIn Aegis I)

Focused Ion Beam/Ionenfeinstrahlanlage

Equipment: FEI Strata 400

Beispielanwendungen:
  • Vorbereitung von TEM-Lamellen
  • Ionenstrahl-Bildgebung