Piezoresistive Drucksensoren

Das Fraunhofer IPMS entwickelt und fertigt piezoresistive Drucksensoren in MEMS-Technologie im eigenen 1500 m² (15000 ft²) Reinraum (Klasse 4 nach ISO 14644-1).

Kapazitive Drucksensoren

Kapazitive Drucksensoren in Oberflächenmikromechanik integrierbar als Post-CMOS-Modul.

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pH-Wert-Sensoren

Das Fraunhofer IPMS entwickelt ionensensitive Feldeffekttransistoren (ISFETs), mit denen der pH-Wert der Umgebung gemessen werden kann.

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MEMS-Sensoren

Das Fraunhofer IPMS entwickelt und realisiert kundenspezifische Produktlösungen im Bereich Sensorik auf Basis der langjährigen Prozessexpertise in der Bulk- und Oberflächenmikromechanik.

In der jüngsten Vergangenheit wurden unterschiedliche physikalische und chemische Sensoren entwickelt. Piezoresistive Drucksensoren sind während der Entwurfsphase an den von der Anwendung geforderten Druckbereich anpassbar und können auch in Hochtemperatur-Umgebungen eingesetzt werden. Photodioden-Arrays kommen in Positionsmesssystemen zum Einsatz; ionensensitive Feldeffekttransistoren bestimmen u. a. den pH-Wert von Flüssigkeiten. Für diese Sensoren bieten wir nicht nur kunden- und anwendungspezifische Entwicklungsleistungen, sondern auch Pilotfertigung in unserem Mikrosystemtechnik-Reinraum an.

Neben der produktorientierten Entwicklung und Pilotfertigung von Sensoren unterstützen wir mit unserem Fertigungs-Know-how auch Kunden und Partner mit Leading-Edge-Technologien zur individuellen Einzelprozessierung ihrer MEMS Sensoren. Beispielsweise findet unser DSE-Prozess (Deep Silicon Etch / Bosch-Prozess) im Backend einer kundenspezifischen Fertigung von IR-Thermopiles Anwendung.