MEMS Technologies Dresden

One-Stop-Shop für individuelle Anforderungen entlang der gesamten Wertschöpfungskette.

MEMS Technologies Dresden

© Foto Fraunhofer IPMS

150 mm MEMS Wafer.

Das Fraunhofer IPMS bietet seinen Kunden die Entwicklung von Produkten und Technologien auf dem Gebiet der Mikro-(Opto)-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS und MOEMS) an. Dabei deckt das Fraunhofer IPMS die gesamte Entwicklungskette für MEMS-Produkte und Technologien ab. Auf Kundenwunsch übernehmen wir die Pilot-Fertigung oder unterstützen den Technologietransfer. Dafür nutzen wir die vorhandene technologische Kompetenz für Bulk-MEMS, Oberflächen-MEMS und der monolithischen Integration von CMOS und MEMS. Für diese Arbeiten steht ein moderner MEMS-Reinraum  mit einer 150 mm-Linie zur Verfügung.

 

Vorteile

  • Umfangreiche Technologie­kompetenz auf dem Gebiet der Ober­flächen­mikro­mechanik und Bulk­mikro­mechanik
  • One-Stop-Shop für individuelle Anforderungen entlang der gesamten Wertschöpfungskette
  • Geringe Investitionskosten insbesondere für Start-Ups, KMUs und Unternehmen in Nischenmärkten ohne eigene Fab
  • Pilotfertigung in einem hochmodernen Reinraum nach industriellen Standards
  • Intensive Betreuung der Fertigungsabläufe durch erfahrene Ingenieure

 

Leistungen

Pilotfertigung

Foundry Services

Test, Charakterisierung & Zuverlässigkeit

MEMS Reinraum

Anlagen & Prozesse

MEMS Technologien

Mikromontage