MEMS Technologies Dresden

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme

Nassbänke im MEMS-Reinraum
Nassbänke im MEMS-Reinraum.

Das Fraunhofer IPMS bietet seinen Kunden die Entwicklung von Produkten und Technologien auf dem Gebiet der Mikro-(Opto)-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS und MOEMS) an. Dabei deckt das Fraunhofer IPMS die gesamte Entwicklungskette für MEMS-Produkte und Technologien ab. Auf Kundenwunsch übernehmen wir die Pilot-Fertigung oder unterstützen den Technologietransfer. Dafür nutzen wir die vorhandene technologische Kompetenz für Bulk-MEMS, Oberflächen-MEMS und der monolithischen Integration von CMOS und MEMS. Für diese Arbeiten steht ein moderner MEMS-Reinraum  mit einer 150 mm-Linie zur Verfügung.

Vorteile auf einen Blick

  • Umfangreiche Technologie­kompetenz auf dem Gebiet der Ober­flächen­mikro­mechanik und Bulk­mikro­mechanik
  • One-Stop-Shop für individuelle Anforderungen entlang der gesamten Wertschöpfungskette
  • Geringe Investitionskosten insbesondere für Start-Ups, KMUs und Unternehmen in Nischenmärkten ohne eigene Fab
  • Pilotfertigung in einem hochmodernen Reinraum nach industriellen Standards
  • Intensive Betreuung der Fertigungsabläufe durch erfahrene Ingenieure

Leistungen auf einen Blick

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