Center Nanoelectronic Technologies (CNT)

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme

Das Fraunhofer IPMS betreibt mit dem Center Nanoelectronic Technologies (IPMS-CNT) angewandte Forschung auf 300 mm Silizium Wafer für Mikrochipproduzenten, Zulieferer und (fabless) R&D Partner am Standort Königsbrücker Straße (Infineon Areal). Die Leistungen des IPMS-CNT umfassen die Prozessmodule:

    • Nanopatterning,
    • High-k Devices,
    • Interconnects/Cu-Metallisierung und 
    • Sub-nm Charakterisierung und Verifizierung

Entwicklungen und neue Prozesse können aufgrund des Industriestandards risikolos und schnell in die Prozessabläufe (bis zu 28 nm) unserer Kunden integriert werden um Herstellungskosten und Zeit zu sparen. Weitere Details finden Sie hier und in unserem Prozesskatalog.

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