Mesoskopische Aktoren und Systeme

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme

Kaum eine wachstumsstarke technische Branche kommt ohne mikrosystem­tech­nische Komponenten in Form von Sensoren oder Aktoren aus. Um die steigenden Anforderungen an die Leistungsfähigkeit mikromechanischer Komponenten zu erfüllen und die technische Basis für neue Anwendungen zu verbreitern, ist die weitere Miniaturi­sier­ung wesentlich.

Fraunhofer-Projektgruppe »MESYS«

Am 1. Oktober 2012 startete unter Leitung von Prof. Dr. Harald Schenk die Fraunhofer-Projektgruppe »Mesoskopische Ak­toren und Systeme«, kurz MESYS, in Kooperation mit der BTU Cottbus-Senftenberg.

Die Arbeiten der Projektgruppe basieren auf einem völlig neuartigen und zum Patent angemeldeten Aktorprinzip. Das Prinzip eröffnet die Entwicklung einer neuen Klasse von Aktoren, welche die Einschränkungen bekannter Lösungen überwindet und insbesondere unter Berücksichtigung mesoskopischer Effekte die Möglichkeit der weiteren Skalierung in Richtung Nanoaktoren eröffnet.

Ziel ist die Entwicklung einer neuartigen, leistungsstarken Aktorklasse für die Mikro- und Nanosystemtechnik sowie die Integration ausgesuchter Aktoren zur Realisation innovativer Bauelemente, Systeme und Applikationen. Dazu zählen beispielsweise Mikro-/Nanomanipulatoren, adaptive Spiegel und optische Schalter. Die potentielle Anwendungsbreite erstreckt sich dabei von der Optik, der Mess- und Medizintechnik und der Biotechnologie bis hin zur Kommunikationstechnik.

Die Projektgruppe fokussiert sich inhaltlich auf die Entwicklung CMOS-kompatibler Herstellungsprozesse, die Simulation und die Charakterisierung der neuartigen mesoskopischen Aktoren. Die Untersuchung der mesoskopischen Effekte ist zentraler Gegenstand der Forschungsarbeiten.

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