MEMS-Sensoren

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme

Mikromechanische Drucksensoren
Mikromechanische Drucksensoren.

Das Fraunhofer IPMS entwickelt und realisiert kundenspezifische Produktlösungen im Bereich Sensorik auf Basis der langjährigen Prozessexpertise in der Bulk- und Oberflächenmikromechanik.

Namhafte, internationale Industriekunden konnten bereits Anwendungen im Bereich Automobiltechnik und Messtechnik basierend auf unseren MEMS-Technologien erfolgreich am Markt platzieren. Drucksensoren für die Öldruckkontrolle in Automatikgetrieben, Photodioden-Arrays zum Einsatz in Positionsmesssystemen und ionensensitive Feldeffekttransistoren zur Bestimmung des ph-Wertes von Flüssigkeiten sind nur einige unserer Referenzen in dieser Entwicklungs- und Produktionskompetenz.

Mit unserem Fertigungs-Know-how unterstützen wir Kunden und Partner mit leading-etch-Technologien zur individuellen Einzelprozessierung Ihrer MEMS Sensoren. Beispielsweise findet unser DSE-Prozess (deep silicon etch / Bosch-Prozess) im Backend einer kundenspezifischen Fertigung von IR-Thermopiles Anwendung.

 

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