MEMS-Sensoren

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme

Drucksensorchips.

Das Fraunhofer IPMS entwickelt und realisiert kundenspezifische Produktlösungen im Bereich Sensorik auf Basis der langjährigen Prozessexpertise in der Bulk- und Oberflächenmikromechanik.

In der jüngsten Vergangenheit wurden unterschiedliche physikalische und chemische Sensoren entwickelt. Piezoresistive Drucksensoren sind während der Entwurfsphase an den von der Anwendung geforderten Druckbereich  anpassbar und können auch in Hochtemperatur-Umgebungen eingesetzt werden. Photodioden-Arrays kommen in Positionsmesssystemen zum Einsatz; ionensensitive Feldeffekttransistoren bestimmen u.a. den ph-Wert von Flüssigkeiten. Für diese Sensoren bieten wir nicht nur kunden- und anwendungspezifische Entwicklungsleistungen, sondern auch Pilotfertigung in unserem Mikrosystemtechnik-Reinraum an.

Neben der produktorientierten Entwicklung und Pilotfertigung von Sensoren unterstützen wir mit unserem Fertigungs-Know-how auch Kunden und Partner mit leading-edge-Technologien zur individuellen Einzelprozessierung ihrer MEMS Sensoren. Beispielsweise findet unser DSE-Prozess (deep silicon etch/Bosch-Prozess) im Backend einer kundenspezifischen Fertigung von IR-Thermopiles Anwendung.

Weitere Informationen zu den technlogischen Möglichkeiten des Fraunhofer IPMS finden Sie unter MEMS Technologies Dresden.

Weitere Informationen

Social Bookmarks