MEMS-Scanner

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme

MEMS-Scanner: IC und Chip

Resonant schwingende Scannerspiegel sind die Technologie der Wahl, wenn es darum geht, Bildinformationen auf engstem Raum zu verteilen. Beim Fraunhofer IPMS finden Sie gleichermaßen technologische Kompetenz für die Bauteil- und Systementwicklung und Anwendungs-Know-how aus über 10 Jahren Entwicklungsarbeit.

In den vergangenen Jahren hat das Fraunhofer IPMS mehr als 40 verschiedene MEMS Scanner entwickelt. Diese Scannerspiegel werden von unseren Kunden zur ein- und zweidimensionalen Ablenkung sowie zur Modulation der optischen Weglänge eingesetzt. Ein Beispiel ist ein für Strichcode-Lesesysteme entwickelter eindimensionaler MEMS Scanner, den die Intermec Technologies Corporation, USA seit 2005 in einer sogenannten ScanEngine für verschiedene Produkte einsetzt. Ein weiteres Beispiel ist ein Scannerspiegel mit Beugungsgitter für spektroskopische Anwendungen. Dieser wird seit 2007 kommerziell von der HiperScan GmbH, einer Ausgründung des Fraunhofer IPMS, in einem neuartigen Nahinfrarot-Mikrospektrometer angeboten. Darüber hinaus beschäftigt sich das Fraunhofer IPMS mit anwendungsspezifischen Scannerspiegeln z. B. für Fourier-Transform-Spektrometer, die konfokale Mikroskopie, hochminiaturisierte Displays, ultrakompakte Laserprojektionssysteme, für die Bildaufnahme in Endoskopen sowie für die Abstandsmessung (Triangulation).

Sehen Sie unsere 1D- und 2D-Scannerspiegel in Aktion:

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