In den vergangenen Jahren hat das Fraunhofer IPMS mehr als 40 verschiedene MEMS Scanner entwickelt. Diese Scannerspiegel werden von unseren Kunden zur ein- und zweidimensionalen Ablenkung sowie zur Modulation der optischen Weglänge eingesetzt. Ein Beispiel ist ein für Strichcode-Lesesysteme entwickelter eindimensionaler MEMS Scanner, den die Intermec Technologies Corporation, USA seit 2005 in einer sogenannten ScanEngine für verschiedene Produkte einsetzt. Ein weiteres Beispiel ist ein Scannerspiegel mit Beugungsgitter für spektroskopische Anwendungen. Dieser wird seit 2007 kommerziell von der HiperScan GmbH, einer Ausgründung des Fraunhofer IPMS, in einem neuartigen Nahinfrarot-Mikrospektrometer angeboten. Darüber hinaus beschäftigt sich das Fraunhofer IPMS mit anwendungsspezifischen Scannerspiegeln z. B. für Fourier-Transform-Spektrometer, die konfokale Mikroskopie, hochminiaturisierte Displays, ultrakompakte Laserprojektionssysteme, für die Bildaufnahme in Endoskopen sowie für die Abstandsmessung (Triangulation).