MEMS-Scanner

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme

Wafer mit Scannerspiegeln unterschiedlicher Größe.

Scannerspiegel, entweder resonant oder quasi-statisch betrieben, sind die Technologie der Wahl, wenn es darum geht, Licht mit sehr kompakten Systemen gezielt abzulenken. Beim Fraunhofer IPMS finden Sie gleichermaßen technologische Kompetenz für die Bauteil- und Systementwicklung und Anwendungs-Know-how aus über 10 Jahren Entwicklungsarbeit.

In den vergangenen Jahren hat das Fraunhofer IPMS mehr als 50 verschiedene resonante MEMS-Scanner entwickelt, die als ein- oder zweidimensional ablenkende Elemente oder auch zur optischen Weglängenmodulation eingesetzt werden. Mögliche Scan-Frequenzen reichen von ca.
0,1 kHz bis zu 50 kHz. Die Anwendungsbreite erstreckt sich von Strichcode-Lesesystemen über die 3D-Messtechnik bis hin zur Laserprojektion, Spektroskopie und Fokuslagenmodulation. Ein praktisches Beispiel ist ein Scannerspiegel mit Beugungsgitter für spektroskopische Anwendungen. Dieser wird seit 2007 kommerziell von der HiperScan GmbH, einer Ausgründung des Fraunhofer IPMS, in einem neuartigen Nahinfrarot-Mikrospektrometer angeboten. Darüber hinaus beschäftigt sich das Fraunhofer IPMS mit anwendungsspezifischen Scannerspiegeln z. B. für Fourier-Transform-Spektrometer, die konfokale Mikroskopie, hochminiaturisierte Displays, ultrakompakte Laserprojektionssysteme, für die Bildaufnahme in Endoskopen sowie für die Abstandsmessung (Triangulation).

Neben den resonanten Scannern werden auch quasistatisch auslenkbare Mikroscanner für Anwendungen wie das Laserstrahlpositionieren oder vektorielles Scannen entwickelt.

Interessenten haben die Möglichkeit, über die Internetplattform www.micromirrors.com kundenspezifische resonante Scanner schnell und kostengünstig für ihre Evaluierung zu beziehen.

Sehen Sie unsere 1D- und 2D-Scannerspiegel in Aktion:

Social Bookmarks